中微公司-深度研究报告：半导体设备龙头内生外延迈向新征程-220222（27页）.pdf

1、 证 券 研 究 报证 券 研 究 报 告告 证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号 未经许可，禁止转载未经许可，禁止转载 公司研究公司研究 半导体半导体 2022 年年 02 月月 22 日日 中微公司（688012）深度研究报告 强推强推 （首次）（首次） 半导体设备龙头，内生外延迈向新征程半导体设备龙头，内生外延迈向新征程 目标价：目标价：164.16 元元 当前价：当前价：124.57 元元 公司是刻蚀和公司是刻蚀和 MOCVD 设备龙头厂商，正通过内生外延加速平台化布局。设备龙头厂商，正通过内生外延加速平台化布局。公司 2004 年由尹志尧博士等人

2、回国创立，2007 年首台 CCP 刻蚀设备研制成功，2012 年首台 MOCVD 设备研制成功，目前产品已具备国际竞争力，公司 ICP刻蚀设备已趋于成熟，截至 2021 年 6 月已交付 100 腔，Mini LED 用 MOCVD设备已获得大批量订单， 产品品类拓展叠加市场份额提升， 公司长期发展向好。目前公司正加速平台化布局，现已组建团队开发 LPCVD 设备和 EPI 设备，同时通过外延式发展方式持有拓荆科技、睿励仪器、理想万里晖、山东天岳、德龙激光等公司股权，与德国 DAS 公司战略合作以开拓半导体行业尾气处理设备领域。公司技术积累深厚，正逐步打造成为国际一流的平台型设备企业。 行业

3、持续高景气叠加国产替行业持续高景气叠加国产替代加速，国产半导体设备厂商份额持续提升。代加速，国产半导体设备厂商份额持续提升。5G、新能源汽车等领域的蓬勃发展开启全球新一轮半导体景气周期， 下游晶圆厂积极扩产带动半导体设备市场快速增长，SEMI 预计 2021 年全球半导体设备市场规模同比增长 44.7%至 1030 亿美元，2022 年将增长至 1140 亿美元。同时，成熟制程供不应求带动国内晶圆厂加速扩产， 中美贸易摩擦背景下设备国产化趋势明显。 2021Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长 29.4%至 72.7 亿美元，SEMI 预计 2021 年中国大陆将成为全球第一大设备支出地区。

4、以北方华创、中微公司为代表的国内半导体设备厂商加大产品开拓力度， 下游晶圆厂积极配合设备验证导入， 半导体设备国产化加速。 随着下游客户的持续扩产及先进制程设备的研发及验证，国产半导体设备厂商份额有望持续提升。 公司刻蚀设备持续受益于行业高景气，公司刻蚀设备持续受益于行业高景气，MOCVD 业务有望迎来拐点。业务有望迎来拐点。刻蚀设备方面， 公司 ICP 设备已实现批量出货， CCP 设备竞争优势明显， 2020 年 CCP设备在国内逻辑器件的两家头部厂商中市场份额达到 39%，且已进入台积电、联电、格罗方德等海外晶圆厂中，未来公司有望显著受益于国产替代机遇，同时凭借产品优势扩大海外市场份额。

5、MOCVD 设备方面，公司打破爱思强、维易科等寡头垄断格局，占据主要市场份额，Mini LED 技术驱动 LED 芯片厂商加大投资力度，公司 2021 年 6 月发布用于 Mini LED 用 MOCVD 设备，截至2021 年 12 月设备订单已超过 100 腔。 随着下游客户持续加码 Mini LED 技术，公司凭借技术优势有望显著受益于行业需求提升。 盈利预测、估值及投资评级。盈利预测、估值及投资评级。全球半导体设备市场持续高景气，公司显著受益于刻蚀设备需求增长；同时，Mini LED 技术趋于成熟，下游 LED 芯片厂商积极扩产，公司 MOCVD 设备业务有望迎来业绩拐点。公司一方面受

6、益于国产替代机遇，另一方面积极推进全球化布局，我们预测 2021-2023 年公司营业收入分别为 31.1/44.0/60.0 亿元，结合公司历史估值区间及行业平均估值水平，给予 2022 年 23 倍 PS，对应目标价为 164.16 元，首次覆盖给予“强推”评级。 风险提示：风险提示： 中美贸易摩擦加剧； 下游客户扩产不及预期； 上游零部件供应短缺。 主要财务指标主要财务指标 2020 2021E 2022E 2023E 主营收入(百万) 2273 3108 4398 6004 同比增速(%) 16.8% 36.7% 41.5% 36.5% 归母净利润(百万) 492 986 991 11