车规级半导体SiC功率模块动静态测试系统_固势科技.pdf

1、固势科技车规级半导体功率模块测试解决方案联系人徐朋：18512199807(微信同号)了解更多，欢迎电联0101规半导体市场前瞻规半导体市场前瞻0202规级半导体功率模块规级半导体功率模块测试规范梳理测试规范梳理0303系统详述系统详述0404NI+NI+固势技术创新固势技术创新ContentsContents车规级半导体市场前瞻01功率半导体？整流交流电转换为直流电增幅增大电信号开关信号导通或者关断电流流动没有电流流动电流I电流I电压V电压V时间t时间t时间tn 二极管n 晶体管n MOS车规级半导体功率模块测试解决方案时间t功率半导体的发展DiodeThyristorGTOBJTIGCTS

2、iC diodeSiC BJTIGBTMOSFETSJ MOSFETSiC JFETSiC MMOSFETGaN HeMT晶闸管/MOSFET时代双极性晶体管场效应晶体管IGBT时代SiCGaN时代1970199020102020车规级半导体功率模块测试解决方案功率半导体的行业应用MOSFET适用于高频应用，而IGBT适用于高压大电流的应用场景。SiC 具备高耐压性和高导热性，在新能源汽车的高电压平台和光伏逆变器等领域有望逐步替代 IGBT。汽车、工业和消费电子是功率半导体的前三大终端市场，三者连续多年合计占比在 75%以上。汽28%业25%消费电21%光伏电10%智能电6%轨道交通4%其它6

3、%功率半导体业占汽业消费电光伏电智能电轨道交通其它功率半导体业应车规级半导体功率模块测试解决方案功率半导体市场规模及发展前景0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%2021202220232024E2025E2026E功率半导体细分占（%）整流桥电路极管器件GaN器件SiC器件MOSFET器件IGBT器件晶闸管模块SiC模块IGBT模块其它-6-4-202468101202004006008001000120014001600201820192020202120222023功率半导体市场正在变大；SiC GaN的市场份额正在逐年增加；属于SIC，GaN的时代正在到来。

4、车规级半导体功率模块测试解决方案功率半导体市场规模（亿元）及增曲线（%）市场规模增长率车规级半导体功率模块测试规范梳理02规级半导体功率模块测试认证-T/CASA 011.22021 A组检验IEC60747-8(MOSFET)IEC60747-9(IGBT)25下的静态测试最额定作温度下的静态测试最低额定作温度下的静态测试25下的动态测试B组检验热阻测试AQG324QC-02短路能测试AQG324QC-03绝缘测试AQG324QC-04机械参数测试、互连层测试C组检验热冲击实验IEC 60749-25功率循环（分级）功率循环（秒级）IEC 60749-34HTRBIEC60747-8(MOS

5、FET)IEC60747-9(IGBT)正反向温栅偏IEC60747-8(MOSFET)IEC60747-9(IGBT)温湿反偏（H3TRB）IEC60747-8(MOSFET)IEC60747-9(IGBT)D组检验寄电感测试IEC60747-15阻燃测试静电放电铅测试未覆盖已覆盖车规级半导体功率模块测试解决方案标准梳理系统详述03 固势科技车规级半导体功率模块测试系统是一款针对功率半导体芯片，器件，模块的专用测试设备，系统可针对动静态测试配置不同的输入输出设备，实现IGBT，以及宽禁带半导体SiC，GaN 等功率半导体芯片，器件，模块的动静态参数测试。系统中仪器仪表采用国际品牌产品，保证测

6、试数据的可靠性，同时为了满足各类测试场景需求，系统中测试驱动电路采用定制化设计，且经过多次迭代，驱动电路整体寄生参数控制行业领先。系统软件采用模块式设计，功能完善，可扩展性强，使用简捷，能适用生产和实验室测试场景。概 述车规级半导体功率模块测试解决方案l 为了评估功率器件的动态参数，通常采取的测量法是双脉冲测试。l 那是双脉冲测试呢？顾名思义，是通过两个脉冲，去控制器件的开关，然后测试在开关过程中的些参数指标。双脉冲测试是什么？双脉冲测试是什么？l 启动参数，关断参数 Ton Loss,Toff Loss,dV/dt,dV/dt peak,dI/dt,dI/dt peak Rise Time,