2022年中国前道半导体设备市场规模现状及国产化研究报告（46页）.pdf

1、2022 年深度行业分析研究报告 内容目录内容目录 前道半导体设备：半导体制造核心工艺设备前道半导体设备：半导体制造核心工艺设备 . 5 前道设备为投资重点，供给端高度集中于美、日、欧头部厂商 . 6 2022 年全球半导体设备市场规模有望再创新高 . 8 前道设备规模近千亿美元，Memory 和 foundry 扩产是投资主推力 .11 本土需求、外部因素催生本土扩产强周期，国产前道设备进入快车道 . 14 前道设备细分赛道梳理：前道设备国产化曙光渐显前道设备细分赛道梳理：前道设备国产化曙光渐显 . 19 光刻： ASML 光刻机一枝独秀，芯源微领衔涂胶/显影国产替代 . 19 刻蚀机：泛林

2、、TEL、应材占比九成，中微、北方华创份额逐步提升 . 25 薄膜沉积设备：北方华创、拓荆科技多线突破 . 29 清洗设备：多家本土公司稳健起步，有望率先国产替代 . 35 CMP 设备：供给高度集中于 CR2，华海清科实现商业量产破局 . 38 离子注入机：美、日把持，万业凯世通即将规模化进入国内头部大厂 . 40 热处理设备：应用材料市占第一，屹唐 RTP 领先，北方华创取得突破 . 44 eWcZyXkZnVdWzWrQpOqQ9P8Q7NnPnNmOoMlOmMnPfQqRoQaQmMzQxNpNrNwMrQrN 图表图表目录目录 图图 1：集成电路产业链分工模式及代表企业：集成电路产

3、业链分工模式及代表企业 . 5 图图 2：全球前：全球前 25 大半导体企业大半导体企业 . 5 图图 3：前道晶圆制造主要工艺：前道晶圆制造主要工艺 . 5 图图 4：晶圆制造设备（前道设备）占半导体设备超：晶圆制造设备（前道设备）占半导体设备超 85%份额份额 . 6 图图 5：前道设备分类及市场规模：前道设备分类及市场规模 . 6 图图 6：全球前三大前道半导体设备龙头市值和业绩情况：全球前三大前道半导体设备龙头市值和业绩情况 . 7 图图 7：2005 年年-2022 年全球半导体设备销售额与半导体销售额增长率比较年全球半导体设备销售额与半导体销售额增长率比较 . 8 图图 8：全球半

4、导体销售额：全球半导体销售额 . 8 图图 9：2011 年年-2022 年全球半导体设备市场规模与增速年全球半导体设备市场规模与增速 . 9 图图 10：北美半导体设备月销售额北美半导体设备月销售额 . 9 图图 11：日本半导体设备月销售额日本半导体设备月销售额 . 9 图图 12：全球半导体设备市场份额（按地域）全球半导体设备市场份额（按地域） . 10 图图 13：中国大陆、中国台湾、韩国半导体设备市场增速中国大陆、中国台湾、韩国半导体设备市场增速 . 10 图图 14：全球前端晶圆厂设备支出全球前端晶圆厂设备支出 . 11 图图 15：存储器制造厂和存储器制造厂和 foundry 资

5、本开支领先资本开支领先 . 11 图图 16：全球晶圆制造产能（折合千片全球晶圆制造产能（折合千片 8 寸晶圆寸晶圆/月）月） . 12 图图 17：CMOS 器件微缩技术路线图器件微缩技术路线图 . 12 图图 18：先进制程设备投资大幅增长：先进制程设备投资大幅增长 . 12 图图 19：成熟制程晶圆需求趋势：成熟制程晶圆需求趋势 . 13 图图 20：成熟制程晶圆需求驱动力结构：成熟制程晶圆需求驱动力结构 . 13 图图 21：先进存储器工艺快速演进：先进存储器工艺快速演进 . 14 图图 22：我国是全球半导体最大的市场：我国是全球半导体最大的市场 . 14 图图 23：中国半导体企业

6、在全球半导体中占比较低：中国半导体企业在全球半导体中占比较低 . 15 图图 24：中国芯片国产化率低：中国芯片国产化率低 . 15 图图 25：数字经济规模前十大国家：数字经济规模前十大国家 . 15 图图 26：中国：中国新能源汽车渗透率快速上升新能源汽车渗透率快速上升 . 15 图图 27：中国半导体行业股权投融资情况：中国半导体行业股权投融资情况 . 16 图图 28：中国半导体设计企业数量：中国半导体设计企业数量 . 16 图图 29：2020-2021 年中国进入芯片设计行业的知名业外企业年中国进入芯片设计行业的知名业外企业 . 16 图图 30：全球存储芯片月产能：全球存储芯片月