亿渡数据：2021年中国特种气体行业短报告（16页）.pdf

1、2021年中国特种气体行业短报告2021.12版权所有2021深圳市亿渡数据科技有限公司。本文件提供的任何内容（包括但不限于数据、文字、图表、图像等）均系亿渡数据独有的高度机密性文件（在报告中另行标明出处者除外）。未经亿渡数据事先书面许可，任何人不得以任何方式擅自复制、再造、传播、出版、引用、改编、汇编本报告内容，若有违反上述约定的行为发生，亿渡数据公司保留采取法律措施，追究相关人员责任的权利。目录第一章 特种气体行业概述-04特种气体行业定义与分类-05中国特种气体行业发展历程-06全球及中国特种气体行业市场规模-07中国特种气体行业产业链分析-09中国特种气体行业竞争格局-10中国特种气体

2、行业发展趋势-12第二章 行业典型企业介绍-13广东华特气体股份有限公司-14苏州金宏气体股份有限公司-15江苏南大光电材料股份有限公司-16nMsMpNoQtPvNtRoNxOyQuN9P8Q7NpNpPsQsQiNmMmNkPnNtN7NoPnNMYoOzRNZtPzR名词解释u特种气体：是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体。u化学气相沉积：一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。u刻蚀： 半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。 u掺杂：指多种物质混杂在一起，在化

3、工、材料等领域中，掺杂通常是指为了改善某种材料或物质的性能，有目的在这种材料或基质中，掺入少量其他元素或化合物。u离子注入：把掺杂剂的离子引入固体中的一种材料改性方法。uMO源：即高纯金属有机化合物，是半导体微结构材料的支撑材料，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。行业概述p 特种气体经过了30年的发展和沉淀，国产化具备了客观条件p 2016年中国的特种气体市场规模为156亿元，至2020年达到282亿元p 中国半导体电子特种气体市场被国外同行业巨头垄断，占据超85%的份额p 特种气体技术要求持续提高，品种不断丰富，国产化趋势明显定义与分类特种气体是指在特定

4、领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体普通工业气体产品可分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。 特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，主要包括电子气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等。电子气体是特种气体的一个重要分支电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子气体主要品种及用途特种气体主要品种及应用领域特种气体是工业气体中的一个新兴门类特种气体是随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。从

5、应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用于电子半导体、化工、医疗、环保和高端装备制造等领域。名 称主要品种应用领域电子气体氢化物：超纯氨、硅烷、磷烷、砷烷、氢化锑广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造氟化物：六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅碳氟化合物：四氟化碳、六氟乙烷等高纯气体N2、O2、H2、He、Ar、CO2主要等，纯度5N（99.999%）大多用于超大规模集成电路及分离器件、光电子等高科技领域标准气体单元标准气体石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域多元标准气体：由两种或两种以上组分气配制而成类别主要品种主要用途

6、电子特种气体氨气、氦气、氧化亚氮、 TEOS（正硅酸乙酯）、TEB（硼酸三乙酯）、 TEPO（磷酸三乙酯）、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等化学气相沉积（CVD）氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等离子注入氟气、氦气、氪气、氖气等光刻胶印刷氢气、三氯氧磷等扩散氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼一氧化碳等刻蚀含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氢、砷化氢等掺杂电子大宗气 体氮气、氧气、氩气、二氧化碳等环境气、保护气、载体工业气体是现代