2020年中国半导体第三方实验检测企业市场格局行业产业研究报告（22页）.docx

1、2020 年深度行业分析研究报告正文目录1. 半导体第三方实验室检测市场41.1. 稳步前进的检验检测服务，新兴领域增长更快41.2. 半导体第三方实验室检测可靠性&失效性分析51.3. 专业第三方晶圆/成品测试更加专业化的分工趋势122. 国内市场格局台资优势仍显著，国内企业已崛起142.1. 第三方实验室检测企业142.2. 专业第三方封装测试企业18图目录图 1半导体第三方检测主要包括第三方实验室测试和专业第三方晶圆/成品测试3图 2我国检测行业保持了稳定较快的增长4图 3我国检测行业发展快速， 2018 年行业营业收入同比增长 18.21%达到 2810.5 亿元5图 4半导体失效分析

2、作用6图 5分立器件使用中的失效模式及占比7图 6集成电路使用中的失效模式及占比7图 7失效分析的基本流程7图 8失效分析的分析结构8图 9聚焦离子束设备（FIB）11图 10 扫描电子显微镜（SEM）11图 11 中国 IC 设计公司数量伴随行业稳步增长（家）12图 12 集成电路设计业销售额稳步增长（亿元）12图 13 半导体测试主要涉及 CP、FT 测试13图 14 国内集成电路行业销售额保持快速增长（亿元）14图 15 中国台湾宜特科技主要业务范围15图 16 苏试试验收入规模增长稳定16图 17 苏试试验归母净利润规模稳定增长16图 18 闳康科技业务范围涵盖半导体相关产业等领域18

3、图 19 闳康科技收入增长稳定18图 20 闳康科技利润有所波动18图 21 京元科技收入水平19图 22 京元科技归母净利润水平19图 23 近年京元科技毛利率和净利率水平有所波动（%）20图 24 2019 年利扬芯片收入大幅增长21图 25 2019 年利扬芯片归母净利润大幅增长21图 26 近年利扬芯片毛利率有所波动，2019 年回升至 53%（%）21图 27 华岭股份收入稳定增长22图 28 华岭股份归母净利润有所波动22图 29 华岭股份今年毛利率水平维持在 50%以上（%）22表目录表 1 根据不同的分类标准，存在多种失效模式6表 2 大规模集成电路主要失效机理及检测方法9表

4、3 第三方实验室检测中主要测试类型及内容10表 4 中国台湾宜特科技发展重要事件15表 5 上海宜特主要财务数据（单位：元人民币）16不同于市场的观点“半导体检测设备”中的“检测”是一个广义的感念。都称之为“检测”的设备 又可以进一步具体分为：狭义的检测（主要是 Defect Inspection & review）、测量（Metrology）以及测试（Test）。除去这三种工艺制程相关的“检测”设备外，在设 计验证阶段还有第三方检测公司，主要做芯片的失效分析。四种设备都会含有“检测”或者“测试”的字眼，对产业不了解的情况下可能会 有所混淆。本系列报告将逐个拆解研究。“检”：狭义检测（主要是

5、Defect Inspection）。 “量”：测量（Metrology），也叫量测。测量=量测。 “试”：测试（test）。下表综述了半导体行业广义检测设备的分布情况。用不同颜色标注了狭义检测、 量测和测试的工艺应用场合。我们未来的系列报告中将会一一展开。图 1半导体第三方检测主要包括第三方实验室测试和专业第三方晶圆/成品测试广义检测设计前道：晶圆生产中道：晶圆制造后道： 晶圆封测相关公司切磨抛离子注入扩散镀膜抛光刻蚀曝光清洗第三方检测验证测试（可靠 性分析、失效分 析、电性测试、 电路修改等）WAT测试CP测试 FT测试第三方实验室测试：中国赛宝、胜科纳米、苏试试验/宜特、 闳康等。第三方

6、晶圆/成品测 试：京元科技、利扬 芯片、华岭股份等。缺陷检测surface scan无图形缺陷检测缺陷检测KLA、AMAT、Hitachi、汉微科、Optima有图形缺陷检测review SEME-Beam掩模版检测残留/玷污检测量测wafer-sites膜厚量测：KLA、AMAT、Hitachi、NANO、睿 励、中科飞测四探针电阻膜应力掺杂浓度关键尺寸套准测量几何尺寸测量测试有效性验证：对 晶圆样品、封装 样品有效性验证WAT测试：Wafer Acceptance Test，硅片完成所 有制程工艺后的电性测试。功能和电参数性能 测试： CP（封装前）、 FT测试（封装 后）泰瑞达、爱德万、