史晓华-光舵纳米压印技术介绍 2405.pdf

1、纳米压印技术领先企业纳米压印技术领先企业步进及套刻纳米压印技术的应用及优势步进及套刻纳米压印技术介绍三.二.目录CONTENTSCONTENTS中试代工服务五.光舵微纳核心产品介绍四.纳米压印技术介绍一.二、纳米压印技术介绍-发展历史 S.Y.Chou,P.R.Krauss,and P.J.Renstrom,“Imprint of Sub-25 nm Vias and Trenches in Polymers,”Appl.Phys.Lett.,67(21),3114(1995).二、纳米压印技术介绍纳米压印技术一种低成本的微纳图形复制工艺+设备工艺耗材直写光刻电子束蚀刻极紫外光刻二、纳米压印技

2、术介绍 硬质或柔性基底采用平面接触方式进行压印 各类PSS图形，微柱，微球(MLA)，微孔图形，条纹图形，极其适合于对于后续进行刻蚀的图案压印，高均匀性，高工艺兼容性；（刻蚀图案不用追求高的深宽比，增加深宽比无助于提高刻蚀深度）平面式压印：二、纳米压印技术介绍-Soft UV-NIL微球图形PSS及nPSS图形PSS及nPSS图形微孔压印后微孔压印后微孔刻蚀后（氧化硅材料）条纹图形二、纳米压印技术介绍滚对板式压印：各类高深宽比图案，斜齿光栅,微柱，光栅，WGP,DOE结构等,适用于二次及多次图形化的套刻压印二、纳米压印技术介绍-Soft UV-NIL小于50nm的光栅结构小于50nm的光栅结构

3、超表面高深宽比产品倾斜光栅高深宽比产品三、步进及对位纳米压印技术工艺抗粘处理的母版在母版表面涂布模具胶水模具基板压印脱模后的压印模具压印模具制作工艺流程：三、步进及对位纳米压印技术应用：模板拼接小尺寸图案模板拼接：如AR模板，超透镜模板等的拼接制作三、步进及对位纳米压印技术应用：模板拼接大尺寸图案模板拼接：三、步进及对位纳米压印技术应用：半导体应用三、步进及对位纳米压印技术应用：半导体应用Canon 高精度对位纳米压印系统Canon现有技术能力：最小线宽小于14nm,套刻精度小于4nm三、步进及对位纳米压印技术应用：半导体应用实现高精度对位套刻压印的要素：高精密位移系统高精密光学系统压力控制系

4、统找平系统温度控制系统点胶系统合格模具的制作完整的耗材体系缺陷控制产能良率成本一、公司介绍苏州常熟苏州工业园区苏州光舵微纳科技成立于2011年，致力于推动纳米压印设备及技术的研发及产业化应用，是一家可以提供纳米压印材设备、材料、工艺方案、技术支持及研发中试代工一整套解决方案的科技公司。光舵微纳科技是国内纳米压印及技术产业化的领先企业，自2016年8月推出国内首台全自动量产型纳米压印设备以来，光舵持续投入研发，在LED-PSS行业拥有接近100%的市场占有率。在光学器件、AR、晶圆级光学、超构透镜、显示领域、生物芯片领域，已推出研发型及量产型纳米压印设备，并实现对多家头部厂商的出货。光舵微纳科技

5、累计获得政府各项资助超过4000万元，2021年初获得汇毅资本及动平衡资本的联合股权投资，2022年3月完成由汇川产投及致道资本联合投资的B轮股权投资。2024年1月完成由国投创合投资的近亿元B+轮股权融资。光舵微纳在苏州工业园区设有研发、百级实验室，为客户提供设备方案及工艺支持服务；在苏州常熟设有百级车间，拥有全自动清洗设备、压印设备、刻蚀设备、SEM及AOI等设备，为客户提供母版加工及代工服务。一、公司资质及荣誉国家“千人计划”创业人才江苏省“省双创”人才江苏省企业博士集聚计划江苏省六大高峰人才苏州市“姑苏人才”南京市“321人才项目”常熟市创新创业人才A类扶持计划苏州工业园区创新创业领军

6、人才江苏省“专精特新”企业国家中小企业创新基金江苏省中小企业创新资金江苏省科技型创业企业孵育计划江苏省“首台套”重大设备江苏省高新技术产品国家高新技术企业ISO9001体系认证欧盟CE认证一、知识产权累计申请专利近100项，获得授权发明专利14项，实用新型专利 40项；均匀气动热压印技术紫外柔性模板自动压印技术滚轮式紫外压印技术耗材及压印工艺解决方案库系统性的耗材与工艺解决方案四、光舵核心产品介绍光舵核心设备机械设计软件设计技术支持及服务工艺研发耗材研发与生产研发中试代工四、光舵核心产品介绍量产研发类型/桌面型滚轮纳米压印设备滚轮压印设备/半自动滚轮纳米压印设备对准式滚轮纳米压印设备全自动滚轮