1、 1|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 公司深度研究公司深度研究|芯源微芯源微 国内涂胶显影设备龙头，布局化学清洗和先进封装 芯源微（688037.SH）首次覆盖 核心结论核心结论 公司评级公司评级 增持增持 股票代码 688037.SH 前次评级-评级变动 首次 当前价格 92.1 近一年股价走势近一年股价走势 分析师分析师 贺茂飞贺茂飞 S0800521110001 18217567458 相关研究相关研究 【核心结论】【核心结论】预计 2024-2026 年公司营收分别为 20.92/27.89/36.25 亿元，归母净利润为 3.26/4.34/5.76 亿元。公司涂胶显影产

2、品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，同时积极布局化学清洗与临时键合及解键合设备打开长期成长空间，首次覆盖，给予公司“增持”评级。【主要逻辑】【主要逻辑】涂胶显影设备是光刻工序关键设备，是唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，涂胶显影设备是光刻工序关键设备，是唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，行业进入门槛高，目前国产化率依然较低，该市场长期被日本厂商垄断行业进入门槛高，目前国产化率依然较低，该市场长期被日本厂商垄断，本土，本土厂商芯源微实现突破厂商芯源微实现突破。芯源微作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，2018 年推出首台前道 Track，经过多年发展，积累了工艺达标、光刻机联

3、机作业、稳定运行的宝贵经验，完成了与数十台光刻机的成功联机量产。公司产品型号覆盖度不断提升，offline、I-line、KrF 节点产品已实现量产，ArF 浸没式机台正加速推进产业化，公司二季度新签订单情况良好，随着客户认可度的提升，公司市场份额有望实现不断增长。我们测算 2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场规模为 10.15 亿美元，预计2025 年增长到 13.17 亿美元。目前前道涂胶显影设备主要被日本东京电子所垄断，在全球市占率高达 90%，涂胶显影设备国产替代迫切。公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，相关产品成功打破国外厂商垄断，前道涂胶显影设备已完成在晶圆加

4、工环节 28nm 及以上工艺节点全覆盖，28nm 以下工艺技术正在验证中，有望充分受益涂胶显影设备国产替代趋势。积极布局化学清洗、临时键合积极布局化学清洗、临时键合及解键合等及解键合等领域，领域，打开成长空间打开成长空间。公司目前已经成为国内前道物理清洗设备龙头，化学清洗机已于 2023 年第四季度获得国内知名客户验证性订单，未来有望逐步放量。键合设备方面，目前芯源微可应用于Chiplet 等领域的新产品临时键合机、解键合机也实现国内多家客户订单导入，进一步打开先进封装市场增长空间。风险提示风险提示：新产品推广不及预期的风险，行业竞争风险，宏观环境风险 核心数据核心数据 2022 2023 2

5、024E 2025E 2026E 营业收入（百万元）1,385 1,717 2,092 2,789 3,625 增长率 67.1%24.0%21.9%33.3%30.0%归母净利润(百万元)200 251 326 434 576 增长率 158.8%25.2%30.1%33.1%32.8%每股收益（EPS）1.45 1.81 2.36 3.14 4.17 市盈率（P/E）63.6 50.8 39.0 29.3 22.1 市净率（P/B）6.0 5.3 4.7 4.1 3.4 数据来源：公司财务报表，西部证券研发中心 -54%-46%-38%-30%-22%-14%-6%2%2023-06202

6、3-102024-02芯源微半导体设备沪深300证券研究报告证券研究报告 2024 年 06 月 25 日 公司深度研究|芯源微 西部证券西部证券 2024 年年 06 月月 25 日日 2|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 索引 内容目录 投资要点.5 关键假设.5 区别于市场的观点.5 股价上涨催化剂.5 估值与目标价.5 芯源微核心指标概览.6 一、国内涂胶显影设备龙头，产品打破国外垄断.7 1.1 深耕涂胶显影设备领域二十载，产品打破国外垄断.7 1.2 财务分析：营收稳步增长，高研发投入保障长期发展.9 二、涂胶显影设备是光刻工序的关键设备，国产替代前景广阔.12 2.1