1、2023 年深度行业分析研究报告 1.碳化硅具有耐高温、高压等优势,渗透率提升空间大.6 2纵观产业链,衬底与外延占据 70%的成本.8 2.1 衬底:晶体生长是核心难点,PVT 为主流方法.8 2.2 外延:处产业链中间环节,设备交付周期长.10 3.竞争格局集中,国内衬底厂商奋起直追.13 3.1 碳化硅衬底市场规模快速增长,导电型 CR3 约 89%.13 3.2 国内衬底厂商加速布局.15 4.相关公司.17 4.1 天岳先进:半绝缘型碳化硅衬底龙头,产能逐步向导电型切换.17 4.2 天科合达:2020 年导电型衬底全球市占率达 4%.18 4.3 东尼电子:1Q23 碳化硅业务收入
2、达 2563 万元.20 4.4 三安光电:具备 SiC 全产业链一体化布局.21 目录 图表目录 图 1:第三代半导体材料特点与性能优势.7 图 2:相同规格下 SiC 器件体积约为硅基器件的 1/10.7 图 3:2020 年碳化硅产业链制造成本占比(%).8 图 4:碳化硅衬底分类.8 图 5:碳化硅衬底制作工艺流程.9 图 6:物理气相传输法生长碳化硅晶体.9 图 7:碳化硅外延工艺图.11 图 8:2020 年全球碳化硅外延片市占率(%).11 图 9:碳化硅外研设备比较.12 图 10:全球碳化硅衬底市场规模(亿美元).14 图 11:2020 年全球碳化硅衬底市占率(%).14
3、图 12:2020 年全球导电型碳化硅衬底市占率(%).14 图 13:2020 年全球半绝缘型碳化硅衬底市占率(%).14 图 14:天岳先进营业收入及同比(百万元,%).17 图 15:天岳先进归母净利润(百万元).17 图 16:天岳先进研发支出及费用率(百万元,%).18 图 17:天岳先进毛利率与净利率情况(%).18 图 18:天科合达营业收入情况(百万元,%).19 图 19:天科合达净利润情况(百万元,%).19 图 20:天科合达地区营业收入情况(%).19 图 21:天科合达产品销售情况(%).19 图 22:天科合达研发支出及费用率(百万元,%).19 图 23:天科合达
4、毛利率与净利率情况(%).19 表 1:第三代半导体材料禁带宽度大,耐高温、高频高功率,拥有高热导率和高击穿电场强度.6 表 2:碳化硅衬底厂商长晶炉设备供应模式.9 表 3:国内碳化硅长晶炉主流设备厂商.10 表 4:国内碳化硅单晶炉设备供应商梯队情况.10 表 5:国内碳化硅外延厂商产能规划.12 表 6:国内外碳化硅企业发展模式差异.13 表 7:海外碳化硅主要衬底厂商产能规划.15 表 8:国内碳化硅主要衬底厂商产能规划.16 表 9:天岳先进碳化硅布局.18 表 10:天科合达碳化硅布局.20 表 11:东尼电子碳化硅衬底项目 2023 年交付计划.20 表 12:东尼电子碳化硅布局
5、.20 1.碳化硅具有耐高温、高压等优势,渗透率提升空间大 近年来,第三代半导体发展迅速。由于第一代及第二代半导体材料自身的物理性能局限,越来越无法满足新型领域如新能源汽车、智能电网、5G 通信等。根据 Yole(悠乐咨询 全球碳化硅市场 2022 年度报告)数据,2022 年全球第三代半导体材料碳化硅(SiC)渗透率为 3%。1)第一代半导体材料以硅(Si)、锗(Ge)为代表,广泛应用于低压、低频、低功率的晶体管和探测器中,90%以上的半导体产品是用硅基材料制作的;2)第二代半导体材料以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)为代表,相对硅基器件具有高频、高速的光电性能,广泛应用于光电子和微电子
6、领域;3)第三代半导体材料以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)、金刚石(C)为代表。因具有大禁带宽度、高电导率、高热导率、高抗辐射能力等优点,更适合在高压、高频、高功率、高温以及高可靠性领域中应用,例如射频通信、雷达、电源管理、汽车电子、电力电子等。表 1:第三代半导体材料禁带宽度大,耐高温、高频高功率,拥有高热导率和高击穿电场强度 指标参数 第一代半导体 第二代半导体 第三代半导体 参数意义(越高)硅 砷化镓 碳化硅 氮化镓 禁带宽度(eV)1.1 1.4 3.2 3.4 更高的应用电压,更低的导通电阻 击穿电场强度(105V/cm)4 5 40 60 饱