1、证券分析师：周尔双执业证书编号：S证券分析师：刘晓旭研究助理：李文意碳化碳化硅设备硅设备行业行业深度报告：深度报告：SiC东风已来，东风已来，关注衬底与外延环节的材料关注衬底与外延环节的材料+设备国产化机遇设备国产化机遇【勘误版勘误版】证券研究报告 机械行业深度报告2023年9月14日 SiC：需求乘“车”而起，材料：需求乘“车”而起，材料&设备商迎国产化机遇设备商迎国产化机遇21、关键假设、驱动因素及主要预测、关键假设、驱动因素及主要预测关键假设：关键假设：1）新能源汽车渗透率持续提升，SiC迎来上车导入期；2）国产材料商、设备商市场份额逐步提升。驱动因素：驱动因素：1）新能源汽车渗透率持续

2、提升，我们预计未来三年全球装机量CAGR约30%。2）衬底环节：国产SiC衬底片厂商良率持续提升、降低衬底成本，提升SiC应用渗透率；长切磨抛设备商打破国外垄断，加速国产化。3）外延环节：国外外延设备产能不足、交期缓慢，利好国产替代。主要预测：主要预测：1）我们预计到2025年全球/国内6寸碳化硅衬底片新增市场空间约380/156亿元，2023-2025年CAGR为78%/90%。2）我们预计到2025年全球/国内6寸碳化硅单晶炉新增市场空间约100/40亿元，2023-2025年CAGR为63%/75%。3）我们预计到2025年全球/国内6寸碳化硅切片设备新增市场空间约30/13亿元，202

3、3-2025年CAGR约48%/58%。4）我们预计到2025年全球/国内6寸碳化硅磨抛设备的市场空间约56/23亿元，2023-2025年CAGR约81%/94%。5）我们预计到2025年全球/国内6寸碳化硅外延炉新增市场空间约130/53亿元，2023-2025年CAGR约75%/88%。6）我们预计到2025年全球/国内6寸碳化硅激光切割设备新增市场空间约5/2亿元，2023-2025年CAGR约60%/71%。2、我们与市场不同的观点、我们与市场不同的观点1）从行业趋势看，）从行业趋势看，SiC上车是大势所趋。上车是大势所趋。全球已有多家车企的多款车型使用SiC，2018年特斯拉率先在

4、Model 3上搭载SiC，从此拉开了碳化硅大规模上车序幕，蔚来、比亚迪、吉利、现代汽车等车企纷纷跟进。2）衬底材料端良率提升是关键，设备端生长、切片、研磨抛光各环节国产化率逐步提升）衬底材料端良率提升是关键，设备端生长、切片、研磨抛光各环节国产化率逐步提升。目前衬底的材料端与国外龙头差距主要在于良率，设备端国内长晶已基本实现国产化，切片&研磨抛光国产化率有待进一步提升。3）外延设备由国外设备商主导，未来）外延设备由国外设备商主导，未来2-3年有望快速实现国产替代。年有望快速实现国产替代。意大利LPE、德国爱思强、日本的Nuflare占比达80%+，设备核心壁垒在于气体流量的控制，国内晶盛机电

5、、北方华创等均在积极推进国产替代。3、股价催化剂：、股价催化剂：SiC衬底&外延持续扩产，国产设备商订单落地，设备国产化率提升。4、风险提示：、风险提示：新能源车销量不及预期的风险、碳化硅渗透率提升不及预期的风险、SiC设备国产化率提升不及预期、各家厂商技术研发不及预期。0XMAxUbY9YkWtPmQ9PbP6MtRpPpNmPlOpOmMjMoMsR7NqQxOxNmQpMNZnOtP投资要点投资要点SiC行业概况：第三代半导体材料性能优越，新能源车等场景带动行业概况：第三代半导体材料性能优越，新能源车等场景带动SiC放量。放量。碳化硅（SiC）具有更高热导率、高击穿场强等优点，适用于制作

6、高温、高频、高功率器件，新能源汽车是未来第一大应用市场，2027年新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模有望达50亿美元，占比高达79%，全球已有多家车企的多款车型使用SiC，例如特斯拉、蔚来、比亚迪等，SiC迎来上车导入期。SiC产业链70%价值量集中在衬底和外延环节，其中衬底、外延成本分别占整个器件的47%、23%，后道的器件设计、制造、封测环节仅占30%。SiC衬底：材料端良率提升是关键，设备端生长、切片、研磨抛光各环节国产化率逐步提升。（衬底：材料端良率提升是关键，设备端生长、切片、研磨抛光各环节国产化率逐步提升。（1）衬底：）衬底：随着下游持续扩产，我们预计全球/国内6寸碳化硅衬底片