1、 电子电子|证券研究报告证券研究报告 行业深度行业深度 2023 年年 6 月月 29 日日 强于大市强于大市 公司名称公司名称 股票代码股票代码 股价股价 评级评级 富创精密 688409.SH 人民币 104.88 买入 中瓷电子 003031.SZ 人民币 129.80 买入 英杰电气 300820.SZ 人民币 82.40 买入 机器人 300024.SZ 人民币 16.13 买入 新莱应材 300260.SZ 人民币 39.62 买入 富乐德 301297.SZ 人民币 22.49 买入 资料来源：Wind，中银证券 以2023年6月28日当地货币收市价为标准 相关研究报告相关研究报

2、告 电子行业电子行业 2023 年中期策略年中期策略20230615 XR 行业动态点评行业动态点评20230609 电子行业电子行业 2023 年度策略年度策略20221223 中银国际证券股份有限公司中银国际证券股份有限公司 具备证券投资咨询业务资格具备证券投资咨询业务资格 电子电子 证券分析师：苏凌瑶证券分析师：苏凌瑶 证券投资咨询业务证书编号：S1300522080003 证券分析师：庄宇证券分析师：庄宇 证券投资咨询业务证书编号：S1300520060004 证券分析师：李可伦证券分析师：李可伦(8621)20328524 证券投资咨询业务证书编号：S1300518070001 证券

3、分析师：陶波证券分析师：陶波 证券投资咨询业务证书编号：S1300520060002 联系人：茅珈恺联系人：茅珈恺 一般证券业务证书编号：S1300123050016 半导体设备零部件行业深度半导体设备零部件行业深度 乘国产替代之东风，各路厂商百家争鸣 半导体设备零部件是半导体行业的基石，半导体设备零部件是半导体行业的基石，行业行业空间大空间大、赛道多。海外对华半赛道多。海外对华半导体限制之下，国产导体限制之下，国产半导体设备半导体设备零部件厂商承担替代重任，同时这也为相关零部件厂商承担替代重任，同时这也为相关公司提供了历史性的增长机遇。公司提供了历史性的增长机遇。支撑评级的要点支撑评级的要点

4、 设备零部件是半导体行业的设备零部件是半导体行业的基础基础。精密零部件技术的突破推动设备的迭代升级。而设备的性能又决定了芯片的制程、功耗等关键参数。中国大陆晶圆制造产能逆势扩张为设备和零部件行业发展中国大陆晶圆制造产能逆势扩张为设备和零部件行业发展提供提供信心信心支支撑撑。JW Insight 预计到 2026 年，中国大陆 12 英寸晶圆总产能将达到 300万片/月以上，是 2022 年的两倍更多。设备零部件空间大，赛道设备零部件空间大，赛道多多。我们预计 2022 年，全球半导体设备零部件市场规模约 484 亿美元，中国大陆半导体设备零部件市场规模约 250 亿美元。半导体设备零部件分为机

5、械、电气、机电一体、气/液/真空系统、光学等子赛道。各细分子赛道均具有其独特的技术门槛。半导体设备零部件亟待国产化。半导体设备零部件亟待国产化。根据芯谋研究数据，静电卡盘、O 形密封圈、阀门、测量仪国产化率不足 1%；射频电源、机械臂、EFEM、气体流量计国产化率 15%；陶瓷件、真空泵国产化率 510%；边缘环、石英件、喷淋头国产化率超过 10%。随着美、荷、日等国的半导体限制政策落地，半导体设备和零部件的国产化有望加速。投资建议投资建议 富创精密富创精密。富创精密是国内领先的平台型半导体设备零部件厂商，在半导体设备零部件国产替代浪潮中居于领先的位置。中瓷电子中瓷电子。中瓷电子是国内领先的陶

6、瓷材料供应商，其静电卡盘产品有望打破海外垄断，实现国产“从 0 到 1”的突破。英杰电气英杰电气。英杰电气是国内领先的射频电源供应商，其相关射频电源产品正在从工业级向半导体级升级和验证的过程中。机器人机器人。新松机器人已经成功实现半导体设备 EFEM 和真空机械手的量产，并开始对国内设备厂出货。新莱应材新莱应材。新莱应材的高纯、超高纯管、阀类产品正在国内头部设备厂、晶圆厂的认证过程中，其有望在国产替代浪潮中深度受益。富乐德。富乐德。富乐德是国内领先的半导体设备清洗服务商，有望受益于国内晶圆厂的扩产。同时半导体设备零部件翻新业务或贡献新增长点。评级面临的主要风险评级面临的主要风险 半导体复苏进度