1、 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。1 证券研究报告 科技科技 半导体设备：机会和挑战并存的一年半导体设备：机会和挑战并存的一年 华泰研究华泰研究 电子电子 增持增持 (维持维持)半导体半导体 增持增持 (维持维持)研究员 黄乐平，黄乐平，PhD SAC No.S0570521050001 SFC No.AUZ066 +(852)3658 6000 研究员 丁宁丁宁 SAC No.S0570522120003 +(86)21 2897 2228 研究员 刘溢刘溢 SAC No.S0570522070002 +(86)21 2897 2228 行业行业走势图走势图 资料

2、来源：Wind，华泰研究 重点推荐重点推荐 股票名称股票名称 股票代码股票代码 目标价目标价 (当地币种当地币种)投资评级投资评级 拓荆科技 688072 CH 339.60 买入 盛美上海 688082 CH 126.50 买入 北方华创 002371 CH 375.20 买入 华海清科 688120 CH 298.30 买入 资料来源：华泰研究预测 2023 年 2 月 21 日中国内地 专题研究专题研究 半导体设备：机会和挑战并存的一年半导体设备：机会和挑战并存的一年 半导体行业自 2022 年初进入下行周期，2023 年对于设备板块挑战与机遇并存。1）SEMI 预计 2023 年全球半

3、导体设备市场规模将同比减少 16.0%至 912亿美元。2）2022 年 10 月 7 日美国商务部宣布修订出口管理条例，受此影响，22 年 11 月中国半导体制造设备进口额显著下滑至 18.76 亿美元（同比-42.63%，环比-7.91%），我们预测 2023 年中国大陆半导体设备资本开支下滑 31.5%。3）在内因及外因推动下，下游厂商加快国产设备认证，我们看好拓荆科技、盛美上海、北方华创、华海清科等受益于国产化率提升带来的投资机会。挑战挑战 1#：SEMI 预计预计 2023 年全球半导体设备规模同比减少年全球半导体设备规模同比减少 16.0%受下游需求及宏观经济转弱影响，半导体自 2

4、H22 进入下行周期，台积电、美光等半导体制造商宣布削减 2023 年资本开支，SEMI 预计 2023 年全球半导体设备市场规模将同比减少16.0%至 912 亿美元，而 2024 年恢复成长 17.6%至 1071.6 亿美元。Lam Research 预估 2023 年的 WFE（晶圆厂设备）市场规模将从 2022 年的 950 亿美元衰退至 750 亿美元，约为 21%跌幅，其中存储行业的强周期属性，因此受到终端消费、景气的影响更甚逻辑设备，NAND设备支出衰退幅度将会超过 DRAM 设备支出。挑战挑战 2#：美：美国出口管制新规进一步发酵，中国国出口管制新规进一步发酵，中国 2023

5、 年半导体资本开支下滑年半导体资本开支下滑 2022 年 10 月 7 日国商务部宣布修订出口管理条例，受美国禁令影响，22年 10 月中国半导体制造设备进口额显著下滑至 20.37 亿美元（同比-22.81%，环比-31.30%），11 月份持续削减至 18.76 亿美元，同比锐减42.63%，环比下滑 7.91%，创 2020 年 5 月以来新低。2023 年，我们预计中芯国际、虹仍逆周期保持较高资本开支步伐，但是由于供应链中断，长江存储自主技术进展与量产能力将受阻碍，可能推迟部分产线的建设。我们预测 2023 年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑 31.5%，仍有望接近 200亿美元，2

6、024 年同比提升 32.5%。机遇：外因机遇：外因+内因进一步催化国产替代加速内因进一步催化国产替代加速 半导体设备国产化率仍有提升空间，我们预计 2022 年国内半导体设备市场国产化率在 13%左右。当前干法刻蚀、清洗、去胶设备等均已实现较高国产化率，CMP、薄膜沉积、量测等设备成熟制程均有产品推出。国内尚未获得突破的设备主要为光刻设备，另外，28nm 及以下薄膜沉积、刻蚀、量测检测、离子注入和涂胶显影等环节国产设备仅覆盖部分步骤。在内因及外因推动下，下游厂商加快国产设备认证，我们看好增量空间较大如刻蚀、CVD等领域，以及此前国产化率较低量测、涂胶显影等设备国产化率提升。板块估值或已板块估