微导纳米-公司深度研究报告：专注ALD设备光伏+半导体双线突破-230107.pdf（40页）

1、本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 1 微导纳米（688147.SH）深度报告 专注 ALD 设备，光伏+半导体双线突破 2023 年 01 月 07 日 微导纳米：国产 ALD 设备领军者。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微纳米级薄膜沉积设备的研发与应用。公司业务涵盖光伏、半导体以及柔性电子领域。主要产品在光伏领域应用于新一代高效太阳能电池（TOPCon、XBC）的薄膜沉积，在半导体领域应用于先进逻辑芯片、新型存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等的薄膜沉积。经过多年技术积累，公司产品已达到国际先进水平。近年来，公司业绩快速增长，营收由

2、2018 年的 0.42 亿元增长至 2021年的 4.28 亿元，CAGR 高达 117%。目前，公司已覆盖包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。半导体领域先后获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。先进工艺演进，催生 ALD 需求增量。ALD 可在复杂形貌上，完成可控制于原子层精度的高质量薄膜沉积，因此在光伏和半导体的先进工艺中均有光伏应用。1）半导体领域，ALD 在 45nm 以下具有广阔应用场景，用于 High-k 介质，多重曝光，3D 结构塑造等。据 Gart

3、ner 数据，2021 年 ALD 在全球薄膜设备市场中占比达到 13%，达到 27 亿美元。2）光伏领域，N 型电池时代来临，目前产业化前景最为明确的 TOPCon 电池和 HJT 电池对于薄膜沉积设备需求旺盛。尤其在 TOPCon 电池产线中，薄膜设备约占总设备投资的 33-40%，带来更大的需求增量。受益于 N 型电池的加速渗透，2022 年公司订单大幅增长，截至 2022年 Q3 在手订单接近 20 亿元，同比增长超过 120%。半导体+光伏双轨发展，国产化替代突破实现。半导体领域，公司是国内首家成功将 High-k 原子层沉积设备应用于 28nm 集成电路制造前道量产线的国产设备公司

4、，打破了国际厂商的垄断。公司作为国内半导体 ALD 技术领军者，设备关键性能参数达到国际水平，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个细分应用领域获得商业订单。光伏领域，公司首创将 ALD 技术应用于光伏规模化量产，研发出 PECVD 技术双平台，具备 TOPCon 整线工艺解决能力，拥有ALD、PEALD 二合一、PECVD、扩散退火炉一系列完备的光伏薄膜设备产品阵列，尤其在 ALD 环节保持国内市场领先优势。投资建议：微导纳米作为国内 ALD 设备龙头企业，在光伏领域持续拓展产品线，在半导体 ALD 领域亦实现突破。我们预计公司 2022-2024 年收入分别为6.03/11.99/16

5、.72 亿元，归母净利润分别为 0.32/1.19/2.01 亿元，对应现价 PE分别为 398/107/63 倍。我们看好公司在 ALD 环节的国产替代潜力，首次覆盖，给予“推荐”评级。风险提示：技术迭代风险；下游扩产不及预期的风险；新产品验证进度不及预期的风险。盈利预测与财务指标 项目/年度 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元）428 603 1,199 1,672 增长率（%）36.9 41.0 98.6 39.5 归属母公司股东净利润（百万元）46 32 119 201 增长率（%）-19.1 -30.7 273.4 68.3 每股收益（元）0.10 0.

6、07 0.26 0.44 PE 276 398 107 63 PB 14.4 6.6 6.2 5.6 资料来源：Wind，民生证券研究院预测；（注：股价为 2023 年 1 月 5 日收盘价）推荐 首次评级 当前价格：27.81 元 分析师 方竞 执业证书：S0100521120004 邮箱： 微导纳米(688147)/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2 目录 1 微导纳米：光伏 ALD 龙头，发力半导体新赛道.3 1.1 国产 ALD 设备领军者.3 1.2 收入连续高增，业务快速扩张.3 1.3 以原子层沉积技术为核心，覆盖行业龙头客户.6