1、 敬请阅读末页的重要说明 证券研究报告|公司深度报告 2022 年 12 月 22 日 国内国内光伏光伏 ALD 设备龙头，设备龙头，TOPCon 和半导体领域有望逐步放量和半导体领域有望逐步放量 TMT 及中小盘/电子 微导纳米是国内微导纳米是国内光伏光伏 ALD 设备设备龙头，布局龙头，布局 TALD、PECVD、PEALD 三大产品三大产品线，在光伏线，在光伏 PERC 领域稳定量产领域稳定量产，半导体领域实现，半导体领域实现 28nm High-k 工艺突破工艺突破。公公司当前在手订单接近司当前在手订单接近 20 亿元，亿元，订单结构向订单结构向 TOPCon 加速切换加速切换，同时同

2、时加速半导加速半导体领域验证体领域验证。公司。公司发行后市值发行后市值 110 亿元，亿元，建议重点关注建议重点关注上市后表现上市后表现。微导纳米以微导纳米以 ALD 技术为核心，聚焦光伏及半导体领域。技术为核心，聚焦光伏及半导体领域。公司成立于 2015 年，成立之初专注光伏电池片领域的 ALD 设备，逐步形成 TALD、PECVD、PEALD三大产品线，并在 2019 年至今逐步在半导体领域取得订单并确认收入。在光伏领域，公司在 PERC 领域稳定量产，覆盖通威、隆基、晶澳、阿特斯、天合光能等头部光伏电池片厂商，同时正在加速 TOPCon 电池设备量产导入；在半导体领域，公司 ALD 设备

3、实现 28nm High-k 工艺的突破，已于多家国内厂商开展验证工作。公司主营业务增长迅速，订单结构加速向公司主营业务增长迅速，订单结构加速向TOPCon电池片和半导体领域切换。电池片和半导体领域切换。公司收入从2018年的0.42亿元增长至2021年的4.28亿元，CAGR为117%，主要系公司用于 PERC 电池片的设备不断放量；2021 年和 2022 上半年，公司 ALD 销量下滑，主要系光伏电池片行业在 2020-2021 年处于从 PERC 向新型高效电池技术如 TOPCon、HJT 等技术转变的过渡期，下游采购节奏短期有所调整。公司目前订单结构加速向 TOPCon 电池片和半导

4、体领域切换，截至 2022 年 11 月，ALD 设备新签订单数量已超过 2021 年全年所有镀膜设备订单总和，同比大幅增长；截至 22Q3，公司在手订单合计 19.75 亿元，其中专用设备和设备改造业务在手订单分别为 18.56 和 1.15 亿元，专用设备中ALD 设备占比 85.7%。公司预计公司预计 2022 全年收入全年收入为为 5.91-6.78 亿元，同比增长亿元，同比增长38.1%-58.4%；考虑到公司验收周期；考虑到公司验收周期 6-14 个月，当前在手订单近个月，当前在手订单近 20 个亿，个亿，未来收入有望健康增长未来收入有望健康增长。光伏电池片从光伏电池片从 PERC

5、 向向 TOPCon、HJT 等转变，等转变，ALD 设备设备在新型高效电池在新型高效电池片技术中具备独特优势。片技术中具备独特优势。光伏电池片以 P 型或者 N 型电池片为原材料，P 型包括传统铝背场和成熟的 PERC 技术，N 型包括 TOPCon、HJT、IBC 和钙钛矿技术；PERC 电池主要由钝化层、铝层、P 型硅组成，TOPCon 包含 N型硅、钝化层、隧穿层等，HJT 在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，综合晶体硅电池和薄膜电池的优势。在 PERC 电池片中，电池正面和背面分别需要 SiNx和 Al2O3 薄膜，PECVD 和 ALD 技术存在相互替代的关系；TOPCon 电池加入了隧穿层

6、及 SiO2 层，PEALD 技术可以获得超薄、大面积均匀性、致密性好的薄膜，相较传统 PECVD 和热氧化法具备独特优势。由于 TOPCon 电池片转换效率优于 PERC，并且可以在 PERC 产线基础上直接进行改造，因此当前光伏电池片厂商正加速从 PERC 向 TOPCon 的技术转变，另外在未来HJT 等成本降低之后，HJT 等技术也将普及，考虑到 ALD 技术在新型高效电池片的技术优势，未来行业光伏 ALD 设备需求量有望逐步增长。2023 年国内光伏薄膜沉积设备市场空间年国内光伏薄膜沉积设备市场空间有望超百亿元有望超百亿元，公司光伏，公司光伏 ALD 设备设备国内市占率第一国内市占率