2022年半导体零部件行业国产替代空间规模及相关公司研究报告（38页）.pdf

1、2022 年深度行业分析研究报告 VYlZfWmUwVcZtYpU8ObPbRmOrRoMnPfQpPwPkPpNqO8OnMnNvPtQoMwMsPsN3 内容目录内容目录 1.零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高.6 1.1.半导体零部件是决定半导体产业高质量发展的关键领域.6 1.2.半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多.7 1.3.多学科交叉融合，复合型技术壁垒高.9 2.市场空间大，零部件市场空间大，零部件交期拉长限制下游扩产需求交期拉长限制下游扩产需求.10 2.1 全球半导体零部件市场规模超 400 亿美元.

2、10 2.2 半导体零部件短缺限制设备产能提升.12 3.海外巨头垄断市场，国产率低海外巨头垄断市场，国产率低.13 3.1 射频电源：AE和 MKS垄断，英杰电气实现突破.16 3.2 机械类：品类众多，国产化快速推进.18 3.3 真空泵：Edwards 以及 Ebara 占据主要份额，汉钟精机、中科仪实现突破.21 3.4 阀门：海外巨头垄断，新莱应材份额快速提高.23 4.相关公司相关公司.26 4.1.新莱应材：国内半导体高纯洁净材料龙头，腔体、管道、阀门技术领先.26 4.2.万业企业：收购 Compart Systems 布局零部件，气体输送系统领域全球领先.28 4.3.江丰电

3、子：国内靶材龙头，布局半导体零部件打开成长空间.30 4.4.富创精密：专注金属零部件，打造平台型公司.31 4.5.汉钟精机：光伏真空泵龙头，拓展半导体业务打开国产替代空间.33 4.6.华卓精科：国内半导体精密运动控制系统龙头.35 4.7.正帆科技：国内领先的工艺介质系统供应商，加码电子特气、半导体零部件.36 4.8.至纯科技：半导体清洗设备快速成长，布局半导体设备零部件助力国产化.38 图表目录图表目录 图 1：半导体零部件在半导体产业链中的地位.6 图 2：五大关键的半导体零部件成本占比（2021 年数据）.8 图 3：陶瓷静电卡盘.10 图 4：精密零部件是半导体行业的重要支撑.

4、11 图 5：全球和中国大陆半导体设备市场规模（单位：亿美元）.12 图 6：2021 年全球半导体设备市场市占率（单位：亿美元）.12 图 7：全球 TOP5 半导体设备厂商毛利率.12 图 8：国内典型半导体设备厂商成本中直接材料占比.12 图 9：半导体资本开支及预测（单位：亿美元）.12 图 10：半导体零部件交期持续拉长.13 图 11：全球前 10 大半导体零部件厂商份额.14 图 12：半导体零部件国产化率情况.16 图 13：全球半导体刻蚀设备市场规模（单位：亿美元）.16 图 14：全球半导体薄膜沉积设备市场规模（单位：亿美元）.16 图 15：MKS半导体业务.17 图 1

5、6：MKS营收结构（单位：百万美元）.17 图 17：MKS分部门毛利率.17 图 18：MKS公司营收情况（单位：百万美元）.18 图 19：MKS公司盈利情况（单位：百万美元）.18 4 图 20：英杰电气营收情况（单位：亿元）.18 图 21：英杰电气半导体业务营收及毛利率（单位：亿元）.18 图 22：部分半导体机械类零部件图示.19 图 23：Ferrotec 营收情况（单位：亿美元）.19 图 24：京鼎精密营收情况（单位：亿元）.19 图 25：Ferrotec 半导体产品线.20 图 26：京鼎精密全球产能布局.20 图 27：新莱应材管道管件产品图示.21 图 28：干式真空

6、泵产品图示.21 图 29：2021 年全球半导体真空泵市场份额.22 图 30：2021 年全球半导体真空泵主要厂商介绍.23 图 31：全球半导体阀门市场规模预测（单位：亿美元）.24 图 32：2021 年全球半导体阀门市场份额.24 图 33：2021 年 VAT 公司分市场营收占比.24 图 34：VAT 公司市场份额.24 图 35：Parker 营收情况（单位：亿美元）.25 图 36：Parker 盈利情况（单位：亿美元）.25 图 37：新莱应材阀门图.25 图 38：盛机电产品图.25 图 39：新莱应材发展历程.26 图 40：新莱应材高纯洁净产品系列.27 图 41：新