2022年半导体零部件市场国产化空间及海外龙头公司研究报告（62页）.pdf

1、2022 年深度行业分析研究报告 目录 1 种类繁杂，半导体零部件成国产化新战场.3 1.1 半导体设备是高集成的复杂系统.3 1.2 设备零部件百亿美元市场空间.10 1.3 国产化突破的五重难点.11 2 全球市场：分散和垄断并存.16 2.1 细分市场高度分散，美日厂商主导.16 2.2 核心零部件垄断程度高.17 3 海外龙头观察：细分领域领先者各有所长.24 3.1 MKS：电气系统平台型公司.24 3.2 UCT：气液系统模组龙头.25 3.3 Edwards：真空和尾气处理龙头供应商.27 3.4 Advanced Energy：专注电源领域.28 4 百舸争流，国产替代初具雏形

2、.31 4.1 供不应求，国产替代空间大.31 4.2 本土厂商崭露头角，细分赛道实现突破.32 插图目录.63 表格目录.64 插图目录 图 1：半导体设备产业链上下游.3 图 2：典型等离子体设备结构.3 图 3：光刻机核心系统示意图.5 图 4：Cymer 的 ArF-i 光源.5 图 5：ASML AT 1100 ArF 光刻机的光学透镜系统.5 图 6：光刻机双工件台.6 图 7：典型干法刻蚀设备结构.6 图 8：晶圆传输系统（EFEM 和 VTM）.7 图 9：EFEM 结构.7 图 10：传输腔.7 图 11：典型 PECVD 工艺模块.8 图 12：卧式炉结构.8 图 13：设

3、备公司原材料采购额结构.10 图 14：半导体设备全球市场规模.11 图 15：阳极氧化膜生长过程图示.13 图 16：电解抛光原理图.13 图 17：2020 年中国晶圆厂商采购 8-12 寸晶圆设备零部件产品结构.16 图 18：机械手的部分应用.18 图 19：全球半导体机械手市场销售额及增长率（百万美元）.18 图 20：2020 年半导体机械手龙头企业地域分布.19 图 21：干式真空泵在半导体行业中的应用.19 图 22：全球半导体真空泵市场规模情况（亿元）.20 图 23：静电吸盘结构图.21 图 24：静电吸盘示意图.21 图 25：中国市场静电吸盘收入（百万元）.22 图 2

4、6：射频电源原理框图.22 图 27：射频电源应用场景.23 图 28：MKS 产品类型.24 图 29：MKS 并购事件.25 图 30：2012-2021 营收和利润（亿元）.25 图 31：2012-2021 利润率情况.25 图 32：UCT 制造和服务基地全球布局.26 图 33：UCT 发展历程.26 图 34：2015-2021 营收和利润（亿元）.27 图 35：2015-2021 利润率情况.27 图 36：2022Q2 收入占比（按部门分）.27 图 37：2022Q2 收入占比（按客户分）.27 图 38：Edwards 全线产品.28 图 39：Edwards 发展历程

5、.28 图 40：AE 产品在半导体设备的应用.29 图 41：AE 发展历程.29 图 42：2015-2021 营收和利润（亿元）.30 图 43：2015-2021 利润率情况.30 图 44：CVD 腔体结构示意图.35 图 45：江丰电子营收利润情况（亿元）.36 图 46：江丰电子零部件业务营收情况（亿元）.36 图 47：江丰电子分产品收入结构（亿元）.36 图 48：江丰电子分产品毛利率情况.36 图 49：新莱应材子公司及主要产品图示.38 图 50：新莱应材营收利润情况（亿元）.38 图 51：新莱应材分行业收入结构（亿元）.38 图 52：新莱应材泛半导体业务营收和毛利率

6、（亿元）.39 图 53：华亚智能参与的供应链图示.41 图 54：华亚智能营收利润情况（亿元）.41 图 55：华亚智能分产品收入结构（亿元）.41 图 56：华亚智能与同业公司半导体零部件业务毛利率情况.42 图 57：Compart 的能力与服务金字塔.45 图 58：Compart 公司低端组件（LLA）图示.45 图 59：Compart 公司半导体零配件图示.45 图 60：浙江镨芯营收利润情况（亿元）.46 图 61：英杰电气营收利润情况（亿元）.47 图 62：英杰电气分行业收入结构（亿元）.47 图 63：英杰电气半导体等电子材料业务营收情况（亿元）.48 图 64：富创精密