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1、 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 1 / 4040 Table_Page 公司深度研究|专用设备 证券研究报告 华峰测控(华峰测控(688200.SH) 国内半导体测试机龙头,向国内半导体测试机龙头,向 SOC 测试领域拓展测试领域拓展 核心观点核心观点: 半导体半导体测试测试:市场前景广阔市场前景广阔,龙头优势显著龙头优势显著。根据 SEMI, 2018 年全 球半导体测试设备(包括 ATE、探针台、分选机)市场规模约 56.3 亿 美元,其中 ATE 约 40 亿美元。全球半导体测试设备行业高度集中。 根据 SEMI,2017 年泰瑞达、爱德万合计市场份额达 87%。目前
2、我国 半导体测试设备国产率低,但以华峰测控、长川科技为代表的国内领 先企业已经打破国外测试机厂商的垄断,未来在产品品类扩产、市场 份额深化具备良好成长空间。 华峰测控:华峰测控:国内最大的半导体测试机厂商国内最大的半导体测试机厂商,向向 SoC 类电路测试和大功类电路测试和大功 率器件测试领域进军。率器件测试领域进军。公司专注于半导体测试系统业务,受益下游需 求快速增长及市场份额持续提升,公司近几年保持快速增长。2019 年 收入 2.55 亿元,同比增长 16.4%;归母净利润 1.02 亿元,同比增长 12.4%;19 年毛利率、净利率分别为 81.8%、40.1%。目前公司产品 主要为模
3、拟及数模混合测试系统,打破了国外厂商的垄断地位,在国 内市场具备相当的市场份额。在产品扩产上,公司计划进入 SoC 测试 系统和大功率器件测试系统领域,有望显著打开公司成长空间。根据 泰瑞达2017年年报, 2017年全球半导体测试设备市场为33.5亿美元, 其中 SoC 测试设备达到 24 亿美元,占总测试设备市场的 71.6%。 投资建议:投资建议:预计 2020-2022 年收入分别为 3.26/4.53/6.10 亿元;EPS 分别为 2.31/3.36/4.40 元/股,对应 PE 分别为 109/75/57 倍。考虑可 比公司估值、公司业绩增速以及公司在半导体测试设备领域的龙头地
4、位,给予公司 2020 年 110 倍的 PE,对应合理价值 253.61 元/股。结 合业绩和估值情况,给予公司“增持”投资评级。 风险提示:风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行 业竞争加剧导致毛利率下滑。 盈利预测:盈利预测: 2018A 2019A 2020E 2021E 2022E 营业收入(百万元) 219 255 326 453 610 增长率(%) 47.2 16.4 28.1 39.1 34.4 EBITDA(百万元) 97 119 154 228 300 归母净利润(百万元) 91 102 141 206 269 增长率(%) 71.8 12.4 38
5、.3 45.8 30.8 EPS(元/股) 2.16 2.22 2.31 3.36 4.40 市盈率(P/E) - - 108.87 74.69 57.10 市净率(P/B) - - 26.28 19.44 14.50 EV/EBITDA - - 96.99 65.11 49.13 数据来源:公司财务报表,广发证券发展研究中心 公司评级公司评级 增持增持 当前价格 251.0 元 合理价值 253.61 元 报告日期 2020-05-14 基本数据基本数据 总股本/流通股本(百万股) 61.19/13.24 总市值/流通市值(百万元) 15357/3324 一年内最高/最低(元) 340.01
6、/187.33 30 日日均成交量/成交额(百万) 0.86/188 近 3个月/6个月涨跌幅 (%) -26.18/-26.18 相对市场表现相对市场表现 分析师:分析师: 周静 SAC 执证号:S0260519090001 021-60750636 分析师:分析师: 罗立波 SAC 执证号:S0260513050002 021-60750636 分析师:分析师: 许兴军 SAC 执证号:S0260514050002 021-60750532 分析师:分析师: 代川 SAC 执证号:S0260517080007 SFC CE No. BOS186 021-60750615 请注意, 周静,罗
7、立波,许兴军并非香港证券及期货事务监察 委员会的注册持牌人,不可在香港从事受监管活动。 -45% -33% -21% -9% 3% 15% 05/1907/1909/1911/1901/2003/2005/20 华峰测控沪深300 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 2 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 目录索引目录索引 一、半导体测试:市场前景广阔,龙头优势显著 . 5 (一)自主芯片持续发展,带动半导体测试增量需求 . 5 (二)进入壁垒较高,呈现高集中度的特点 . 10 二、华峰测控:国内最大的半导体测试机厂商 . 14 (一)打破海外巨头
8、技术垄断,实现进口替代. 14 (二)扩大销售规模,开拓新客户,布局海外版图 . 18 (三)经营可持续性强,盈利能力优秀,成长潜力大 . 23 三、未来业务方向:进军 SOC 类电路测试和大功率器件测试领域 . 28 (一)该细分领域市场容量大,发展空间广阔. 28 (二)抢占产业制高点,形成全面的产品布局. 33 四、投资建议与风险提示 . 36 oPqPrQtQsPnMyRsQuMnRuM9PcMaQtRrRmOnNjMrRsPiNrQnQ8OnNuNMYnNqRuOmRqM 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 3 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司
9、深度研究 图表索引图表索引 图 1:全球半导体销售额(亿美元) . 5 图 2:半导体产品按照制造技术分类 . 6 图 3:中国集成电路销售额及中国市场占比 . 6 图 4:主要半导体设备市场份额 . 7 图 5:检测在集成电路全过程中的应用 . 8 图 6:半导体检测设备的分类和价值量分布 . 8 图 7:国内晶圆厂建设投资带来的测试设备需求空间(亿元) . 9 图 8:国内封装企业资本开支(百万元) . 10 图 9:集成电路行业经营模式示意图 . 11 图 10:2018 年国内集成电路测试机行业竞争结构 . 11 图 11:我国半导体测试机国产率(以中标信息测算) . 13 图 12:
10、公司主要产品演变情况 . 14 图 13:公司对长电科技、华天科技、通富微电的销售额(万元) . 16 图 14:公司主要产品收入占营业收入的比重 . 17 图 15:公司现有客户与正在认证的客户数量(家) . 18 图 16:公司对客户的平均销售额(万元/家) . 18 图 17:公司产品平均单价(万元/套) . 19 图 18:公司产品产销情况(套) . 19 图 19:公司主营收入与期末在手订单金额 . 20 图 20:公司全球收入结构(万元) . 20 图 21:2018 年国内封装测试企业地域分布情况 . 21 图 22:公司境外收入与占比 . 21 图 23:2019 泰瑞达区域销
11、售占比 . 22 图 24:2018 全球半导体设备区域市场占比 . 22 图 25:华峰测控与长川科技测试机业务毛利率对比 . 23 图 26:半导体测试机行业主要竞争对手毛利率情况 . 24 图 27:半导体测试机行业主要竞争对手净利率情况 . 24 图 28:华峰测控研发费用(万元)与同比增速 . 25 图 29:半导体测试机行业主要竞争对手研发费用率情况 . 25 图 30:半导体测试机行业主要竞争对手最新披露的研发人员占比情况 . 25 图 31:半导体测试机行业主要竞争对手 2019 年净资产情况(万元) . 26 图 32:华峰测控营业收入(万元)与增速 . 26 图 33:华峰
12、测控归母净利润(万元)与增速 . 27 图 34:全球 SoC 测试设备市场(百万美元) . 28 图 35:2018 年中国集成电路测试机市场规模(亿元) . 29 图 36:2018 年中国集成电路测试机产品结构 . 29 图 37:全球存储器测试设备市场规模(百万美元) . 29 图 38:SoC 测试与存储器测试占 ATE 设备的比重 . 30 图 39:全球及中国大陆功率器件市场规模(亿美元) . 30 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 4 4 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 图 40:2018 年中国大陆功率器件应用领域占比 . 31
13、 图 41:2017 年全球功率器件细分领域占比 . 32 图 42:国际测试机企业与国内企业产品系列对比 . 33 图 43:国内外测试机企业与分选机企业产品系列对比 . 34 表 1:工艺过程控制与半导体测试对比 . 7 表 2:国内晶圆厂建设投资对应的设备需求空间(亿元) . 9 表 3:长江存储测试设备中标情况(截止 2020 年 2 月) . 12 表 4:半导体测试机企业主要技术指标对比 . 14 表 5:公司核心技术情况 . 17 表 6:协助公司开发海外市场的合作商的基本情况 . 22 表 7:功率半导体器件对比 . 31 表 8:半导体材料迭代 . 32 表 9:公司产量及按
14、募集资金计划的未来产能 . 34 表 10:在研项目进展情况 . 35 表 11:具体研发项目与拟投资金额 . 35 表 12:华峰测控分业务盈利预测(百万元) . 36 表 13:华峰测控可比公司 PE 估值情况可比(市值统计截止 2020.05.13 收盘) 37 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 5 5 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 一、半导体测试:市场前景广阔,龙头优势显著一、半导体测试:市场前景广阔,龙头优势显著 (一)自主芯片持续发展,带动半导体测试增量需求(一)自主芯片持续发展,带动半导体测试增量需求 信息产业第三次浪潮席卷,全球
15、半导体行业景气上行。信息产业第三次浪潮席卷,全球半导体行业景气上行。当前,以互联网、智能手机 为代表的信息产业第二次浪潮已步入成熟,增速放缓,而以物联网为代表的信息感 知及处理正在推动信息产业进入第三次浪潮,数据处理需求快速膨胀,推动全球半 导体行业景气上行。根据WSTS和SEMI数据,2018年全球半导体市场规模为4,688 亿美元,2010年至2018年全球半导体市场年复合增长率达到5.81%,并预计2019年 全球半导体市场规模达到4,545亿美元。 图图1:全球半导体销售额(亿美元):全球半导体销售额(亿美元) 数据来源:WSTS,SEMI,广发证券发展研究中心 集成电路占半导体总产值
16、的集成电路占半导体总产值的80%以上,是半导体产业最重要的组成部分。以上,是半导体产业最重要的组成部分。集成电路 从功能、 结构角度主要分为数字集成电路、 模拟集成电路与数/模混合集成电路三类, 其中:数字集成电路主要与数字信号的产生、放大和处理有关,数字信号即在时间 和幅度上离散变化的信号; 模拟集成电路主要与模拟信号的产生、 放大和处理有关, 模拟信号即幅度随时间连续变化的信号,包括一切的感知,譬如图像、声音、触感、 温度、湿度等;数/模混合集成电路是指输入模拟或数字信号,输出为数字或模拟信 号的集成电路。 中国集成电路行业增长迅速,现已成为全球最大的集成电路市场。中国集成电路行业增长迅速
17、,现已成为全球最大的集成电路市场。中国半导体产业 发展较晚,但凭借着巨大的市场容量,现已成为全球最大的半导体消费国。根据 CSIA数据, 2018年国内集成电路市场规模为985亿美元, 2010年至2018年国内集成 电路市场复合增长率达到21.10%,高于全球市场同期年复合增长率。目前,中国超 过美国、欧洲和日本,成为全球最大的集成电路市场,占比达到25.05%。随着行业 需求中心和产能中心进一步向中国大陆转移,中国集成电路的需求还将持续增长。 0 500 1,000 1,500 2,000 2,500 3,000 3,500 4,000 4,500 5,000 20102011201220
18、1320142015201620172018 2019E 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 6 6 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 图图2:半导体产品按照制造技术分类:半导体产品按照制造技术分类 数据来源:华峰测控招股书,广发证券发展研究中心 图图3:中国集成电路销售额及中国市场占比:中国集成电路销售额及中国市场占比 数据来源:CSIA,广发证券发展研究中心 半导体检测是半导体行业唯一贯穿设计、制造、封装、应用全过程的重要部分,对半导体检测是半导体行业唯一贯穿设计、制造、封装、应用全过程的重要部分,对 产品良率的监控至关重要。产品良率的监控至关重
19、要。根据SEMI数据,在全球半导体设备市场中,前段晶圆加 工设备部分,即光刻、刻蚀、薄膜沉积设备,各占20%的市场。在检测设备领域, 包括工艺过程控制、 CP测试、 FT测试等, 则占整个半导体设备市场空间的15%20%。 以2019年全球576亿美元的半导体设备销售额(数据来源于SEMI)测算,全球半导 体检测设备市场空间为86.4115.2亿美元。 在半导体检测领域, 工艺过程控制与半导体测试各占半壁江山。在半导体检测领域, 工艺过程控制与半导体测试各占半壁江山。 按半导体生产流程, 主要的检测环节包括:设计验证、过程工艺控制检测、CP测试(晶圆测试)、FT 测试 (成品测试) 。 其中我
20、们将过程工艺控制检测归为一类、 将设计验证、 CP测试、 FT测试归为一类,并将后一类统称为半导体测试。根据KLA、Gartner的数据,在半 导体检测设备的价值量分布中,半导体测试占比约为46%,据前文估计的2019年全 球半导体检测设备销售额测算,全球半导体测试设备市场空间为39.753.0亿美元。 0% 5% 10% 15% 20% 25% 30% 0 200 400 600 800 1,000 1,200 201020112012201320142015201620172018 中国集成电路销售额(亿美元)中国市场占比 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 7 7 / 4040
21、 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 图图4:主要半导体设备市场份额:主要半导体设备市场份额 数据来源:SEMI,广发证券发展研究中心 表表1:工艺过程控制与半导体测试对比工艺过程控制与半导体测试对比 测试内容测试内容 测试环节测试环节 测试类型测试类型 主要设备企业主要设备企业 客户客户 工艺过程控制工艺过程控制 形状、膜厚、线宽、缺 陷检测、电阻率、离子 注入浓度 晶圆加工环节 主要是光学检测 科磊、日立高新、应用 材料 逻辑芯片企业、存储芯 片企业以及代工厂 半导体测试半导体测试 DC/AC参数测试、功能 测试 设计环节;晶圆加工完 成后、封装完成前后 (CP与FT)
22、主要是电参数检测 泰瑞达、爱德万、科利 登(Xcerra) 设计企业、封测企业 数据来源:半导体制造技术,MichaelQuirk,电子工业出版社,广发证券发展研究中心 半导体测试设备,主要包括探针台、分选机、测试机等。半导体测试设备,主要包括探针台、分选机、测试机等。其中半导体测试机负责测 试半导体器件的电路功能、电性能参数,具体涵盖直流参数(电压、电流)、交流 参数(时间、占空比、总谐波失真、频率等)、功能测试等。而探针台和分选机实 现的则是机械功能,将被测晶圆/芯片拣选至测试机进行检测。探针台和分选机的主 要区别在于,探针台针对的是晶圆级检测,而分选机则是针对封装的芯片级检测。 因此,测
23、试机和探针台是晶圆测试环节的核心设备,而测试机和分选机是封装测试 环节的核心设备。 半导体测试机也称半导体测试机也称ATE设备,其主要细分领域为存储器、设备,其主要细分领域为存储器、SoC、模拟、数字、分立、模拟、数字、分立 器件和器件和RF测试机。测试机。本文所研究的公司华峰测控主要覆盖的正是模拟及数模混合测试 机领域。根据KLA、Gartner的数据,在半导体测试设备的价值量分布中,SOC测试 机、存储器测试机占比较高,分别为45%和15%,模拟及数模混合测试机占比约为 5%。 据前文估计的2019年全球半导体测试设备销售额测算, 全球模拟及数模混合测 试机市场空间为1.982.65亿美元
24、。 光刻机 刻蚀设备 薄膜设备 检测设备 其他 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 8 8 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 图图5:检测在集成电路全过程中的应用:检测在集成电路全过程中的应用 数据来源:华峰测控招股书,广发证券发展研究中心 图图6:半导体检测设备的分类和价值量分布:半导体检测设备的分类和价值量分布 数据来源:KLA,Gartner,广发证券发展研究中心 受益于国内晶圆厂扩产,半导体测试设备需求持续攀升。受益于国内晶圆厂扩产,半导体测试设备需求持续攀升。随着信息技术进步,物联 网、 大数据、 人工智能、 5G通信、 汽车电子等新型应用
25、市场带来巨量芯片增量需求, 国内晶圆厂面临重要行业机遇,积极进行工艺研发与产能建设,长期性与规模性的 下游投资将对半导体测试设备创造极佳的成长环境。以长江存储和合肥长鑫为例, 二者都将在2020年进入积极的产能爬坡期,预期将促使设备需求大幅增长。根据集 邦咨询数据,19年Q4长江存储产能2万片/月(12英寸),2020年底有望扩产至7万 片/月;合肥长鑫目前产能已达到2万片/月,预计2020年第一季度末达到4万片/月。 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 9 9 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 表表2:国内晶圆厂建设投资对应的设备需求空间:国内晶圆
26、厂建设投资对应的设备需求空间(亿元)(亿元) 2016 2017 2018 2019E 2020E 2021E 2022E 设备总投资(亿元)设备总投资(亿元) 400 518.7 824.3 818 1258.9 1851.1 2473.1 同比增速同比增速 37% 30% 59% -1% 54% 47% 34% 检测设备投资检测设备投资 74.1 96.1 152.8 151.6 233.3 343 458.3 测试设备测试设备投资投资 32 41.5 65.9 65.4 100.7 148.1 197.8 模拟及数模混合测试机模拟及数模混合测试机投资投资 1.3 1.7 2.6 2.6
27、4.0 5.9 7.9 数据来源:SEMI,中国招标网,广发证券发展研究中心 备注:测算假设条件为:(1)过程工艺控制设备占设备总投资比例为10.53%(根据过去10年平均占比);(2)测试设备占设备总投 资比例为8%;(3)模拟及数模混合测试机占测试设备比例为0.32%。 我们测算2020-2022年国内晶圆厂(代工厂及存储器厂)建设带来设备需求分别为 1259亿元/1851亿元/2473亿元,分别同比增长54%/47%/34%,其中检测设备需求 分别为233亿元/343亿元/458亿元。检测设备中,测试设备需求分别为101亿元/148 亿元/198亿元。 测试设备中, 模拟及数模混合测试机
28、需求分别为4.0亿元/5.9亿元/7.9 亿元。 图图7:国内晶圆厂建设投资带来的测试设备需求空间(亿元)国内晶圆厂建设投资带来的测试设备需求空间(亿元) 数据来源:SEMI,中国招标网,广发证券发展研究中心 从测算结果看,2016年以来,下游晶圆厂投资为测试设备创造的需求空间就呈现不 断且加速扩大的趋势,2010年至2018年需求空间年复合增长率达到20.04%,并且 预计未来三年这一强趋势仍将继续保持。此外,从国内封装企业资本开支情况看, 2010年至2018年资本开支年复合增长率达到22.12%。2013年以来资本开支加速增 长,自2016年起增速虽有放缓,但增长态势保持不变,也释放出测
29、试设备行业利好 信息。 0 50 100 150 200 250 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1010 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 图图8:国内封装企业资本开支(百万元)国内封装企业资本开支(百万元) 数据来源:Wind,广发证券发展研究中心 (二)进入壁垒较高,呈现高集中度的特点(二)进入壁垒较高,呈现高集中度的特点 半导体测试机行业属于技术密集型的行业,集计算机、自动化、通信、电子和微电 子等技术于一身,具有技术密集、人才密集等特征,在技术、资金、客户资源方面 进入壁垒较高,具体如下: (1)技术壁垒:)技术壁垒:随着半导体行业发展
30、,并行测试数量和测试速度的要求不断提升, 对测试机的功能模块需求增加,对测试精度和数据分析能力的标准持续提升,并产 生对通用化软件开发平台的要求。半导体测试系统企业需要经过多年的技术和市场 的经验积累储备大量的修正数据,以确保上述性能指标达标与持续优化,行业内的 新进入者很难在短期内全面掌握所涉及的技术。 (2)资金壁垒:)资金壁垒:为保持技术的先进性、工艺的领先性和产品的市场竞争力,半导体 测试系统行业内企业需进行持续的研发投入,资金需求量较大。特别是集成电路产 品类别众多,性能参数不尽相同,下游客户对配套专用设备的技术和性能要求也有 差异。若无一定现金流支持,则难以承担较长投资回报期的投资
31、风险,无法和市场 优势企业进行有力的竞争。 (3)客户资源壁垒:)客户资源壁垒:随着集成电路产业进一步精细化分工,在Fabless模式下,容 易形成产业协同壁垒。一方面,当下游大部分晶圆制造和封装测试企业客户使用同 一款测试机时,为保证集成电路量产质量的可控性,设计企业也会优先使用;另一 方面,为了更好地符合集成电路设计企业的精度要求,设计企业使用的测试机成为 晶圆制造和封装测试企业的首选。对于新进入者而言,市场先入者已建立并稳定运 营的产业生态链将构成其进入本行业的一大壁垒。 0 1,000 2,000 3,000 4,000 5,000 6,000 7,000 8,000 9,000 20
32、10201120122013201420152016201720182019Q3 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1111 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 图图9:集成电路行业经营模式示意图集成电路行业经营模式示意图 数据来源:华峰测控招股书,广发证券发展研究中心 由于进入壁垒较高,半导体测试机市场呈现高集中度的特点。由于进入壁垒较高,半导体测试机市场呈现高集中度的特点。根据SEMI,2017年, 全球半导体测试机市场占有率最高的前两家企业(泰瑞达和爱德万)合计市场份额 高达87%。根据赛迪顾问数据,2018年中国集成电路测试机市场规模为36.
33、0亿元, 其中:泰瑞达和爱德万产品线丰富,二者2018年中国地区销售收入分别为16.8亿元 和12.7亿元,各占中国集成电路测试机市场份额的46.7%、35.3%;华峰测控与长川 科技2018年测试机销售收入分别为2.2亿元和0.86亿元,各占6.1%和2.4%的市场份 额。 图图10:2018年国内集成电路测试机行业竞争结构年国内集成电路测试机行业竞争结构 数据来源:赛迪顾问,广发证券发展研究中心 另一重要表现是我国半导体测试设备国产率低。另一重要表现是我国半导体测试设备国产率低。当前美国和日本厂商代表了全球半 导体测试设备的前沿制造技术, 国际知名测试设备企业包括日本爱德万 (Advant
34、est) 、 美国泰瑞达(Teradyne)、美国科利登(Xcerra)和美国科休(Cohu)等。具体到 全球测试机市场,则大部分市场份额由爱德万和泰瑞达占据。其中泰瑞达在SOC测 泰瑞达,46.67% 爱德万,35.28% 华峰测控,6.11% 长川科技,2.39% 其他企业,9.56% 识别风险,发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1212 / 4040 Table_PageText 华峰测控|公司深度研究 试领域具有较高的优势;而爱德万在存储器测试领域处于领军地位,在SOC测试市 场相对于泰瑞达、 惠瑞捷属于后进入者, 但其SOC测试设备市场份额逐渐稳步上升。 以长江存储为例,从截止20
35、20年2月的中标情况看,半导体测试设备的采购呈现以 下特点: (1) 主要以用于前道检测的探针台与ATE为主。 其中ATE合计中标344台, 探针台中标247台。(2)市场份额非常集中。其中ATE中标厂商共7家,包括泰瑞达 (Nextest)、爱德万、SEMICS、是德科技、Qualitau、武汉精鸿/上海精测半导体 以及DI。探针台中标厂商7台,分选机中标厂商2家。(3)ATE国产化率1.7%,探 针台、 分选机国产化率0%。 主要是武汉精鸿/上海精测半导体中标产品级高温老化测 试机合计6台。 表表3:长江存储长江存储测试设备中标情况测试设备中标情况(截止(截止2020年年2月)月) ATE
36、 中标厂商中标厂商 中标台数中标台数 份额份额 泰瑞达泰瑞达 164 47.67% 爱德万爱德万 105 30.52% SEMICS 32 9.30% 是德科技是德科技 21 6.10% Qualitau 15 4.36% 武汉精鸿武汉精鸿/上海精测半导体上海精测半导体 6 1.74% DI 1 0.29% 探针台探针台 中标厂商中标厂商 中标台数中标台数 份额份额 SEMICS 126 51.01% 东京精密东京精密 114 46.15% CASCADE 4 1.62% 旺矽科技旺矽科技 1 0.40% FORMFACTOR 1 0.40% 日立高新日立高新 1 0.40% 分选机分选机 中标厂商中标厂商 中标台数中标台数 份额份额 平田机工平田机工 27 67.50%