2020年我国平板显示光伏电池靶材产业市场竞争格局行业研究报告（31页）.docx

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1、2020 年深度行业分析研究报告内容目录1、 靶材概况41.1 产业链条51.2 制造工艺71.3 产业格局81.4 产业政策92、 半导体用溅射靶材112.1 更小制程，利好铜钽靶材122.2 供应格局：国产靶材定点突破132.3 供应商认证：周期漫长，标准苛刻142.4 市场规模153、 平板显示用靶材153.1 竞争格局：定点突破重点品种163.2 市场空间：LCD 和 OLED 双轮驱动184、 光伏电池用靶材225、 行业投资逻辑255.1 大基金二期加持，加速产业发展255.2 免税政策取消，支撑国产靶材快速成长265.3 国产替代，大势所趋276、 主要上市公司276.1 有研新

2、材276.2 江丰电子286.3 隆华科技296.4 阿石创30图表目录图 1：溅射示意图4图 2：高纯靶材产业链5图 3：溅射靶材应用结构6图 4：靶材生产工艺流程8图 5：靶材市场主要企业份额8图 6：国内靶材企业9图 7：半导体靶材溅射原理图12图 8：半导体用金属靶材12图 9：半导体制造材料成本结构15图 10：半导体用靶材市场规模预测（单位：亿元）15图 11：铜靶、8.5 代线的铝条靶、钼条靶和 5.5 代线用宽幅钼靶16图 12：FPD 技术路线19图 13：全球 FPD 市场结构19图 14：国内 FPD 市场结构19图 15：全球 FPD 需求规模（单位：百万）20图 16

3、：FPD 用靶材国内市场规模21图 17：光伏电池分类22图 18：光伏电池用靶材形成背电极23图 19：HIT 电池成本结构23图 20：HIT 工艺链条23图 21：HIT 电池结构24图 22：光伏电池用靶材市场规模预测24图 23：大基金一期投资领域25图 24：大基金二期股东结构25图 25：靶材进口相关税率26图 26：中国进口货物金额排名27图 27：有研亿金历年净利润（单位：万元）28图 28：江丰电子业绩概况28图 29：四丰电子历年业绩（单位：万元）29图 30：晶联光电生产的 ITO 靶材30图 31：阿石创业绩概况31表 1：三种真空镀膜方式对比5表 2：靶材分类5表

4、3：靶材应用细分情况6表 4：靶材生产工艺对比7表 5：历年来靶材相关行业政策9表 6：半导体用靶材简介13表 7：国内外半导体用靶材供应商简介14表 8：不同材质靶材在平板显示的应用16表 9：平板显示用靶材的国内外供应商17表 10：国内靶材企业下游面板客户18表 11：国内面板厂商产能规划情况20表 12：全球 OLED 产线产能20表 13：靶材行业主要公司概况261、 靶材概况靶材：溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材，特别是高纯度溅射靶材应用于 电子元器件制造的物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）工艺，是 制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄

5、膜的关键材料。真空状态下，用加速 的离子轰击固体表面，离子和固体表面原子交换动量，使固体表面的原子离开固 体并沉积在基底表面形成所需要的薄膜，这一过程称为溅射。被轰击的固体是用 溅射法沉积薄膜的源材料，通常称为靶材。 图 1：溅射示意图数据来源：溅射靶材发展 概述，研究所溅射靶材主要由靶坯、背板等部分构成，其中，靶坯是高速离子束流轰击的目标 材料，属于溅射靶材的核心部分。在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表 面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜；由于高纯度金属强度较低， 而溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程，机台内部为高电压、高真空 环境，因此，超高纯金属的溅射靶坯需要与

6、背板通过不同的焊接工艺（行业俗称 绑定技术）进行接合，背板起到主要起到固定溅射靶材的作用，且需要具备良好 的导电、导热性能。溅射镀膜是制备薄膜的主要技术之一，综合优势显著。PVD 镀膜目前主要有三种 形式，分别是溅射镀膜、蒸发镀膜以及离子镀膜。综合而言，蒸镀薄膜的密度最 差，只能达到理论密度的 95%，镀膜的附着力也最差，但是蒸镀的镀膜速率最快。 离子镀不但密度最高、晶粒最小，而且镀膜与基板的附着力也是三种镀膜中最大 的，只是离子镀膜最大的缺点是基板必需是导电材料，并且镀膜时基板的温度会 升高到摄氏几百度，上述的缺点使离子镀的应用受到很大的限制。目前，溅射是 制备薄膜材料的主要技术之一，用溅射