摩尔光伏：异质结(HJT)量产技术报告（108页）.pdf

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1、 锦州阳光能源 单晶全产业链单晶全产业链 专注光伏二十年专注光伏二十年 国家级高新技术企业、中国制造 2025 国家级绿色工厂、工信部第一批符合光伏制造行业规范条件企业 2003 年起为日本和台湾市场批量供货 N 型单晶 日本夏普全球最大 OEM 组件厂 M3 硅片电池组件的开创者 5 年双玻（双面）组件批量出货经验 310W 领跑者项目组件供应商 技术咨询：13941664134 2019 年 3 月 主 编 王琪 副主编 郑海军 技术专家 王树林 编 委 张娟 周肃 谢志刚 张超华 曾清华 林锦山 黄巍辉 刘玉颖 敖毅伟 鲍刚 高艳涛 James Peng 尹鸣 郑静 王鹏 吴龙海 出 版

2、 摩尔光伏 技术支持 晋能清洁能源科技股份公司 钧石（中国）能源有限公司 锦州阳光能源有限公司 应用材料（中国）有限公司 常州聚和新材料股份有限公司 北京捷造光电技术有限公司 TV 北德集团 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 MEYER BURGER TECHNOLOGY（梅耶博格） 常州比太科技有限公司 1 目目 录录 第一部分 综述 . 3 第二部分 HJT 电池效率进展 . 5 一、HJT 太阳电池研究进展与关键技术 . 5 二、HIT 太阳电池研究现状 . 5 第三部分 HJT 电池及组件产能现状 . 8 一、市场前景 . 8 二、国内外 HJT 技术产业现状 . 9 第四部分 HJT

3、 电池关键技术进展 . 11 第一章 制绒清洗 . 11 第二章 非晶硅薄膜技术进展 . 13 一、CVD 技术 . 15 二、异质结非晶硅薄膜沉积技术（PECVD&HWCVD) . 17 三、异质结-CVD 设备制造商和技术特点 . 20 四、异质结-CVD 产线应用现状和未来趋势 . 21 第三章 TCO 透明导电薄膜技术进展 . 23 一、PVD 技术 . 24 二、异质结透明导电薄膜沉积技术（PVD&RPD) . 25 三、异质结-PVD 设备制造商和技术特点 . 29 四、异质结-PVD 产线应用现状和未来趋势 . 29 第四章 HJT 电池的丝网印刷 . 31 一、丝网印刷工艺 .

4、 31 二、异质结电池丝网印的工艺特点及性能要求 . 32 三、异质结电池丝网印刷机的现状 . 34 四、异质结电池丝网印刷机的未来发展趋势 . 35 第五章 铜电极 . 36 第六章 退火 . 38 一、退火工艺在异质结电池的目的 . 38 二、退火设备在工艺的需求 . 38 三、不同退火工艺设备之比较 . 38 2 第七章 测试 . 40 一、新阳光模拟器光谱 IEC 60904-9 第三版本草案 . 40 二、电容性的高效异质结电池测试技术挑战 . 41 三、混合光源模拟器应用在高电容测量工艺 . 42 四、无主栅线的测量工艺设计 . 42 第五部分 HJT 电池关键技术突破方向 . 4

5、4 一、 HJT 对硅片的要求和表面制绒清洗技术. 45 二、 CVD 钝化技术 . 48 三、PVD 磁控溅射和透明导电膜的沉积 . 51 四、金属化电极/多主栅趋势 . 55 五、HJT 技术提升：HBC 及叠层结构 . 57 六、HJT 规模量产的成本控制 . 58 第六部分 HJT 关键材料高效化 . 60 一、高效 HJT 组件 N 型单晶硅片标准-2019 . 60 二、HJT 太阳电池低温银浆 . 66 第七部分 HJT 组件的发展趋势 . 72 一、HJT 多主栅的发展 . 72 二、智能网栅连接技术 Smartwire connection Technology(SWCT)

6、. 76 三、HJT 太阳能电池组件的精准测量 . 80 四、HJT 组件技术未来趋势 . 87 第八部分 HJT 电池产线建设 . 90 一、土建结构 . 90 二、洁净室的结构 . 91 三、冷冻站 . 92 四、PSA . 93 五、背压阀和倍压阀 . 93 第九部分 HJT 电站及市场定位 . 95 一、电站收益对比分析 . 95 二、HJT 太阳能电池与其他电池成本动态下降趋势 . 100 三、市场定位 . 103 3 第一部分第一部分 综述综述 HJT 是 Heterojunction Technology 的缩写，是一种 N 型单晶双面电池，具有工艺简单、发电量高、度电成本低的优