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国内设备的量产进展
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【研报】机械行业异质结电池设备行业深度报告:复盘PERC发展历程推演设备未来图景-20200513[44页].pdf
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与国外成熟设的备相比,这一阶段的国内设备仍处于早期起步阶段。虽然自 2011 年起,国内丰盛装备、理想能源和中电科 48 所都有 PECVD 设备陆续下线,并在随后的几年时间内实现批量销售,但这一时期,国内 PECVD 设备还是主要应用于电池正面减反膜的沉积,尚未涉及背钝化,且早期设备在性能上仍与海外产品仍存在一定差距。而反观国外设备,国外设备生产商在 2012年已经可以提供 PERC 电池的整套解决方案。如瑞士 Meyer Burger 旗下的 Roth & Rau,通过与InnoLas 合作,向客户提供背钝化 PECVD 系统和 ILS TT 激光开槽系统的整体方案;SoLayTec 和Singulus也分别推出 In Passion ALD 系统和 PERC电池生产解决方案 Perceus,均成功应用于 PERC电池的生产,并相继获得来自国内外厂商的设备订单。因此,与国外的成熟设备相比,这一阶段的国内设备仍处于早期起步阶段。
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【研报】机械行业异质结电池设备行业深度报告:复盘PERC发展历程推演设备未来图景-20200513[44页].pdf
国外厂商PERC电池扩产进程放缓
国内设备的量产进展
海外设备厂商出货情况
理想万里晖PECVD设备发展过程
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