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不同半导体领域高纯氧化亚氮单价与毛利率存在差异(科利德1H23数据)
不同半导体领域高纯氧化亚氮单价与毛利率存在差异(科利德1H23数据)
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金宏气体-公司深度研究报告:优质的综合气体服务商电子气体全面布局-240312(38页).pdf
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高纯氧化亚氮是一种活性较低的氧化剂,具有较高的选择性。在集成电路领域,主要通过CVD 工艺沉积生长氧化硅、氮化硅及氮氧化硅介质层;在新型显示领域,主要用于生成氮化硅和氮氧化硅半导体膜,以此作为开关控制屏幕的电流导通;在光伏领域,主要通过PECVD 工艺沉积生长氮化硅或氮氧化硅,在 PN 结硅表面形成减反射膜以提高太阳光吸收率。
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