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电子气体分种类份额占比
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三氟化氮(NF3)是目前应用最广的电子特气,占全球电子气体产量约 50%。NF3 在卤化氮中最稳定,是一种强氧化剂。在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,氟离子对硅化合物、钨化合物有优异的蚀刻速率和选择性。并且,三氟化氮在蚀刻时,蚀刻物表面不留任何残留物,是良好的蚀刻、清洗剂。大量应用于半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产工艺中。
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Foundry和DRAM精度仍会不断提升(2020年后为预测情况)
半导体设备市场增速周期性
北方华创LPCVD机台THEORISSN302D
北方华创PVD机台eVictorAX30AlpadPVD
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