离子交换树脂可应用于 I 级电子级超纯水的制备。超纯水是指 25℃下电阻率为 18MΩ·cm的水,且除了水分子外,几乎没有其他微粒、细菌以及有机物质。对杂质的控制主要是因为微粒会使半导体的外延层产生尖峰,光刻过程产生针孔;而细菌本身可视作微粒,且体内含有钠、钾、磷等多种微量金属元素;总有机碳(TOC)也会对形成氧化膜产生不良影响。我国电子工业部将电子级水质技术分为 I 级、II 级、III 级、IV 级、V 级五大行业等级,抛光树脂(超纯水终端混床离子交换树脂)应用于超纯水生产中的抛光混床模块单元,可获得电阻率为 18MΩ·cm 的 I 级电子级超纯水。