至纯科技：至纯科技投资者关系活动纪要2018年9月.docx

1、证券代码：603690 证券简称：至纯科技上海至纯洁净系统科技股份有限公司投资者关系活动纪要时间：2018年9月地点：公司会议室上市公司接待人员：董事会秘书柴心明、证券事务代表张娟参与人员：浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券、准锦投资、东吴证券、广州金控、中国平安、工银瑞信、财通基金、财通证券、西南证券、富国基金、尚雅投资、悟空投资、中国太平、华宝基金、国盛证券、国金证券、华商基金、民生加银、华泰证券、东方证券、国泰证券、广发证券主要内容：1、湿法清洗设备的订单情况如何？公司湿法槽式清洗设备已获得6台的量产订单，客户是中芯国际和万国半导体，这次的六台设备都是槽式设备，主要是适用于半导体厂

2、商8寸线。9月下旬可交付台，乐观估计今年四季度或明年一季度确认收入。公司正在开拓单片清洗设备的客户需求。2、一般晶圆厂对清洗设备的需求量是多大？从清洗设备的配备量来看，目前以4万片产能的产线为例，一般情况下，8寸线匹配50台设备，12寸线国内匹配70台设备左右，包括槽式和单片，国外有的厂商能够达到120台清洗设备水平。在一个Fab厂清洗机需要2个亿美金。随着下游对良率要求高，会大量采用单片式，但是单片式清洗效率低，单片式清洗设备根据腔体数量不同，清洗效率也不同，一个腔体一次只能清洗一片。未来随着良率越来越高，单片式需求会越来越大。我们公司通常根据客户具体要求来提供清洗机。 3、清洗设备目前价格

3、大概多少？市面上最便宜的单片清洗设备是两个腔体的50-60万美金，而6-8个腔体的单片式清洗设备的价值大概300-400万美金。槽式价格100-200万美金市场价格。4、目前国内的清洗设备跟国外的差距体现在哪些方面？国外单片式清洗设备已经发展到12个、16个腔体了，腔体多对应的附属设备的介质供应也多，需要满足智能化、软件控制、压力均等和清洗后的存放等需求。设备选择还是更看重良率和技术更新。湿法清洗设备种类很多，从种类和功能上国产设备目前实现的只有其中的10%，公司产线达产以后希望做30%以上的品类，未来我们希望湿法清洗机台的国产化率可以达到85%，进口替代能够大大增加国内厂商的竞争实力，避免国

4、外厂商的价格垄断。 清洗设备在晶圆制造过程中反复使用，每道工艺都要清洗，是必备工艺，也会有具体的细分，14nm是我们目前正在做的。公司的设计、制造实力是可以覆盖较多种类，但是未来也是步步为营，不可能一蹴而就。我们非常看重客户需求，未来会跟动客户需求逐步扩张我们的产品线。5、看到公司开始湿法清洗领域不久，可以介绍一下我们相关部门的人员、制造基地情况吗？公司湿法事业部于去年底成立，目前有人员近40人，槽式清洗设备目前是在日本制造，将来会放在启东，新厂乐观估计十月份部分交付使用，明年下半年产能有望开始释放，但达产仍需过程，最主要的制约因素是高端人才的培训需要比较长的周期。公司在去年年报提出的目标是未

5、来五年内实现清洗设备累积销售200台。目前第一期设计产能是年产48台。未来湿法事业部的团队规模有望达到300-400人。6、请介绍一下启东基地的情况？启东基地占地100亩，规划两期。产能贡献主要在系统集成和湿法制造。产能释放后，高纯系统集成方面的产能是目前的4-5倍，清洗设备一期预计产能达48台。今后，启东作为公司的生产基地，上海是总部和研发中心，有mini lab可以做研发测试用。7、公司湿法清洗设备的技术来源于哪里？槽式清洗设备主要是引进日本团队进行研发、设计、生产，近20人，团队人员均有国际大厂相关经验，不存在IP问题；单片式清洗设备是与一家韩国公司MUJIN合作，他是海力士专属供应商，

6、与公司合作，开拓中国市场，双方均贡献技术并共享IP，合作共赢。8、请预测一下公司明年清洗设备的订单及未来的行业需求？根据公司的产能情况和产业链调研，我们认为明年的新增订单规模可能在20台的水平。订单规模主要受制于产能的影响，虽然产线的设计产能初期是48台，但从人员和设备调试等因素综合考虑，产能短时间迅速释放仍有一定的压力。从公司与下游客户的沟通结果来看，2019-2021是设备的高峰期，2018-2019是建厂高峰期，整体行业正进入清洁设备采购期。一般设备运行的寿命差不多3-4年，由于清洗介质有强腐蚀性，使用一定时间后，初期是换零部件，后期3-4年会产生更换设备的需求。从良率和价格的角度来看，