1、应用于不同生产制程的平板显示检测系统技术原理差异较大。Array 制程主要是对玻璃基板的生产加工，该段制程的检测主要是利用光学、电学原理对玻璃基板或偏光片进行各种检测，如 AOI 光学检测系统。Cell 制程主要是在Array 制程完成的玻璃基板的基础上生成液晶面板，该段制程的检测主要是利用电学原理对面板进行各种检测，如亮点检测系统、配向检测系统等。Module 制程主要是对面板加装驱动芯片、信号基板、背光源和防护罩等组件，该段制程的检测主要是利用电讯技术对面板或模组进行信号检测。对 OLED 产线来说，由于OLED 技术是TFT 显示技术的进一步改进，其生产线设备具有较大的通用性，特别是 A
2、rray 制程设备。主要区别在于 OLED 自发光特性决定 OLED 的Cell 和Module 段不需要再添加背光源、偏光片等。检测设备应用于面板制造各个阶段，OLED 由于良率问题对检测设备需求更多LCD 新建产线投资成本中，面板设备投资约占面板产线投资规模的 60%，测设备占设备总投资的 20%。目前面板产线的良率情况为高世代线良率低于低世代线良率，对于 OLED 产线而言，以京东方为例，京东方8.5 代线LCD 良率已达到97%以上，而低世代的 6 代线OLED 产线良率仅在 65%。OLED 产线同世代下良率更低，对检测设备需求相应更大，约为 LCD 产线检测设备的1.5-2 倍。从生产制程出发，Array、Cell、Module 制程检测设备占比分别为 70%、25%、 5%。Array 和Cell 制程由于多为自动化光学检测(AOI)检测产品，技术含量相对较高，占检测设备投入也较多。目前我国较为成熟的检测设备多为 Module 制程设备，技术含量处于较低水平。
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