1、3.2 蒸发源设备OLED 上游设备在产业链占比约 35%，为典型资本密集行业，市场增长强劲。OLED上游设备在 OLED 产业链中成本占比 35%左右，包括背板段工艺的显影、蚀刻设备;蒸镀封装段工艺的蒸镀、封装设备;模组段工艺的检查、测试设备。其技术壁垒高，研发成本较高，目前主要以欧美日等地区供应商为主。随着一些 LCD 8 代线的转型和改建，市场上出现了更多设备需求，这些需求主要是来自于蒸镀段。蒸镀工艺是 OLED 屏生产过程中难度最高的环节之一，将直接影响到制成品的良率和质量。HIL、HTL、EML(R&G&B 等颜色)、 ETL、EILr 等功能层采用真空蒸镀方式、连续
2、地沉积在 TFT 基板之上。由于工艺参杂的需要和为了避免交叉污染, 不同的功能层需要在不同的蒸镀机腔体内蒸镀, 同时在蒸镀完成后通过机械手将基板在不同的腔体之间进行转移。OLED 有喷墨打印技术和传统蒸镀技术，传统真空蒸镀技术较长时间仍为 OLED 主流技术。OLED 有机发光层及辅助功能层的制备方法主要有真空蒸镀法和喷墨打印法，前者是目前中小尺寸面板量产使用的主要技术，后者技术尚未成熟、未形成产业化。蒸发源作为进行蒸镀的核心组件，其性能决定蒸镀过程中的镀膜厚度和均匀度，可视作蒸镀设备的“心脏”。真空蒸镀法工作原理是在真空环境中对有机发光材料加热，使之气化并沉积到基片上而获得薄膜材料，又称真空镀膜。真空蒸镀设备由真空抽气系统和真空腔体组成，其中真空抽气系统由(超)高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成，真空腔体内配置蒸发源、晶振片及掩膜板等不可缺少的部件。真空腔体内设有多个放置有机材料的蒸发源并左右移动，用来加热有机材料使之气化蒸发并沉积至基板上成薄膜。
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