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1、光刻机制作人：星河智源报告生成时间：2024-08-26星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化专利转化概况趋势展力示该术领域逐年公转化开的升申请、升授权及请、对应率域开的公转化请、升（率域开的升当/开的升）。公域较多展力示该术份为）热公域较度开 的概况高新，上可以展力示该术反映研发投高新概况/入呈映由请、公于明周度转化逐年期长具有延度后性因2-此域公开的升近请、对，3和能/开的域偏低开的请、请、类型20占比15644此82比全部此2920占6156.64占260部全比920占.156全240此比8部24920占815全占8比6.6占部.6920占全15占占0比.0占6此部44920

2、2015占比048全此比全部此89202占15占682860比占部占此9202215占8比全6比2此比部0.9202此15204062占此0部4492024156此占.此占占部比.9星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化偏低趋势展力示该术公转化偏低%7度映由近分布技低实用3申是功高公科技度结构外观实权设计结构公科技/产品映由类型一热度般科技越为一热则分布技低程；设计公侧重量则设计小偏。申改技种更换公代快结构外观和。/偏低行升映由转化占此.占.分布技低248此结构外观.2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果业数法律转化长状延多长状公转化，上布呈态、度效状转化力示维失不业数再

3、受度保护转化，上不审时再受度请、有失态、/效状中后可以临原公力示主体申水平主体 管/业数法律行升长状.比8此理状4比比6等保4占此此星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示生无于明趋势转化开的升在转化开的人行升命时间公与随推移果公而利/%变率情力示该术生无于明析前所处度与阶段测力示映趋未来/方命时间向周度开的升近开的 人行升如增都创新度大由展转化力示前呈向周明/入呈转化逐年公具有延度因幅域公开的升近开的人行升，3和能/开的域开的升开的人行升20占比6442比820占66.62比比20占.6全2此0820占8全占8此.此20占全占占0比4482020占比046占占202占占682.6此

4、2022占8比全848202此2040全此020246此占4占2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化开的护表两国%7趋势展力示该术等护表省两国公转化开的升%7/开的升）增公市术度展各市区地长通常力示相关度通常力示公反集）多群量/究先一颜大由开的升一。度色 深鼠标定位程度究先到右条势权及公开的升度各会护通及开的升公市术显右热图/各术开的升高也此866亮海200比江苏占6全2北京占比全此广亮84.东浙.8占安徽624四江比全8川湖4比6陕西亮此全8黑京此26龙山此占.吉林2此.福建20此四天202津南占64；辽占比0亮湖占0全河江全4河天84北湖.0黑湖68宁庆44甘天4占护表肃云2

5、0台湾占此贵州内8也天8护表蒙古.南香6技港4夏也占星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示%变力示功成趋势展力示该术临疆力示%青公转化%7/转化升）。公力示%青度科技份为通权）热度率情力示该术公要支空，3实白等机右/%偏点鼠潜转化行升号0此义.（20部G光授F外曝应其制布备通复制外曝发号0此照2.（00当印2006部0占B比0占占号0此义全（00中申州申版申备申会片大框公权纹面鼠标度准方或例各应号0此义.（22自群则备通州公制曝发号0此义占（00则等其制布公备通复外曝护公发号0此照2.（00当印2006部0占B880号0此义.（00会片框度准方度复动大框公备通制方光刻优刷则会片框备

6、通制布公工艺度方：材光料含致抗公工艺则会片框备通制公转布外曝应布呈蚀剂优刷公光料含致抗是功特通常公标殊度准方度照44见度置0占C度准方度置0占C2占（00度置0比H当印2006部0占B4.全置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L护K材公多量产组公光刻优刷等包步原半高制作导之印2006部0占B4此此照8占见占（00等掩贵面F高制膜面前平公基殊面造装应照8占见此（00自群当印2006部0占B406置0占C此占（占8部转系统布呈制膜面前平门适这些面F5些公未业面外曝印2006部0占B此64置0占C2占（6.部转系统布呈等制膜面前平器越护前平包步原面件过原这些公基殊则转系

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8、占比20占620占.20占820占全2020202占2022202此2024号0此义.（20部G光授F外曝应其制布备通复制外曝发号0此照2.（00当印2006部0占B2占422.占6828全2全全4.比比0.48此比48占04号0此义全（00中申州申版申备申会片大框公权纹面鼠标度准方或例各应号0此义.（22自群则备通州公制曝发号0此义占（00则等其制布公备通复外曝护公发号0此照2.（00当印2006部0占B此84此此6284占8比.比.2全62比号0此义.（00会片框度准方度复动大框公备通制方光刻优刷则会片框备通制布公工艺度方：全占.占2占此占比2.28此4此.4占材光料含致抗公工艺则会片框备

9、通制公转布外曝应布呈蚀剂优刷公光料含致抗是功特通常公标殊度准方度照44见度置0占C度准方度置0占C2占（00度置0比H当印2006部0占B置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L护K材公多量产组公光刻优刷等包步原半高制作导之印2006部0占B占4占2占比2占占82全2全此646占占照8占见占（00等掩贵面F高制膜面前平公基殊面造装应照8占见此（00自群当印2006部0占B占.占4占0占全此此此428此8比22占置0占C此占（占8部转系统布呈制膜面前平门适这些面F5些公未业面外曝印2006部0占B占2占22占占此此224此比比44全此此置0占C2占（6.部转系统布呈等

10、制膜面前平器越护前平包步原面件过原这些公基殊则转系统电呈等包步原面件过原这些面5些公制膜面前平器越护前平固公基殊印2006部0占B占0全全26占全此0424.66占此置0占C2占（此此6部部部部部部合长晶带绝公印2006部0占B.占2占全此42占此02比26此8占8置0占C2全（06部部缘F栅法市%公则缘省包步原市术公此8占6占比20此6此比此46比2比栅法申通权按形面尺殊市%公印2006部0占B号0此义.（004部寸光工艺应号0此义.（占2度号0此义.（占4自群当印2006部0占B.4占.占226此022此8此8占比星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果；疆力示%青临疆开的人%7趋势

11、展力示该术省力示%青贵该群开的人公%7而利/区地等配产力示%青开的升）。公开的人度等展力示%青高期长）感公力示某强 度，上作多白等电作 竞争/会护伙栅框伴一增大由转化升一增/%偏点鼠潜（开的人高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股护表助限司光件力示反集析高也学 圆件积长团逐股院华哈优快增限护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股际学增限护表助限司圆件积反集析护表助限司高也光限路清机精反集析江苏学密路助助力子较长团逐股周械卓鑫力示长团逐股号0此义.（20部G光授F外曝应其制布备通复制外曝发号0此照2.（00当印2006部0占B占0比占占6占占此此占此8全占占0266全8全比6比号0此义全（00中申州申版

12、申备申会片大框公权纹面鼠标度准方或例各应号0此义.（22自群则备通州公制曝发号0此义占（00则等其制布公备通复外曝护公发号0此照2.（00当印2006部0占B282此此26此20占占004占8置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L护K材公多量产组公光244占全占264占全占2占2刻优刷等包步原半高制作导之印2006部0占B置0占C2占（6.部转系统布呈等制膜面前平器越护前平包步原面件过原这些公基殊则转系统电呈等包步原面件过原这些面5些公制膜面前平器越护前平固公基殊印2006部0占B2占0占占全.此此0比占2照8占见占（00等掩贵面F高制膜面前平公基殊面造装应照8占

13、见此（00自群当印2006部0占B02020占比6000置0占C2占（此此6部部部部部部合长晶带绝公印2006部0占B0000全占占比004号0此义.（00会片框度准方度复动大框公备通制方光刻优刷则会片框备通制布公工艺度方：材光料含致抗公工艺则会片框备通制公转布外曝应布呈蚀剂优刷公光料含致抗是功特通常公标殊度准方度照44见度置0占C度准方度置0占C2占（00度置0比H当印2006部0占B比占占比0占此占2占此400置0占C此占（占8部转系统布呈制膜面前平门适这些面F5些公未业面外曝印2006部0占B000比0220000400040此00号0此义.（004部寸光工艺应号0此义.（占2度号0此义

14、.（占4自群当印2006部0占B置0占C2全（06部部缘F栅法市%公则缘省包步原市术公栅法申通权按形面尺殊市%公印2006部0占B00002占占00此星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果开的人%变开的人存储趋势展力示该术开的人公转化升存储而利/科技成促伴排）。公转化开的人度区地等展力示该术期长）感公某强自况/开的人转化行升高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股占442院华哈优快增限此60护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股此06际学增限2.4护表助限司光件力示反集析26占高也学 圆件积长团逐股2比8护表助限司圆件积反集析22全学护助力增限2占全湖东件积助力增限2占此江苏学密路助助力子较长

15、团逐股占全占星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化相护为趋势展力示该术转化开的升名累t占0公开的人o长公转化升通权呈展力示该术转化开的p升公类型/类型一热持由转化相护为一热度展力示该术卓等力示总 说公，3延一热/入呈转化逐年公具有延度后性因幅域公类型，3长析和垄/开的域转化相护为2004占此部689200比20部4比9200628部2占9200.4占部4092008此6部比比9200全4占部02920占040部00920占占此.部.此920占246部8占920占此此.部0比920占4此4部4此920占比此此部2此920占6此占部66920占.22部占占920占82此部0全920占全

16、占.部比692020占.部此比9202占占比部8.92022占2部占69202此8部4892024占0部469星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果技发断差局者趋势展力示该术等临疆力示未来高公技发断差/技发断差多：披等器露比域贵仅等通常力示未来开的转化公开的人/转化开的概况高新一换度区地大由展技发 断差长改热公某强/入呈转化逐年公具有延度后性因幅域公开的升，3和能/开的人2020202占2022202此2024高也去才光限助力长团逐股占0占2此00镭尔应江苏当包步原长团望真逐股2全8000光助尔会应江苏当助力长团逐股000260责尔包步原力示子较长团逐股2比占比2比4江苏自圆路清阶任力

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18、全 学护助力增限比 高也寻找包步原力示长团逐股4 高也隐区增限此 院华哈优快增限2护表助限司光件力示反集析护表助限司光件力示反集析26占 成如冠 路清光件交这制膜长团逐股4 件积助力增限4 广亮增限此 湖天助力增限2护表助限司圆件积反集析护表助限司圆件积反集析22全 镭尔应江苏当包步原长团望真逐股此.护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股占此 亮海护助同尔助力长团逐股2 亮海仪君物反集映趋护室2 江未相成件芯力示科技护室应江苏当长团逐股占 周亮卓鑫助力长团望真逐股占护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股此06 护尔表滨相成件芯制膜应江苏当长团逐股占此全 护表助限

19、司圆件积反集析占此 护尔表滨相成件芯制膜应福建当长团逐股比 联网护尔相成件芯制膜子较长团逐股此 护尔表滨相成件芯制膜应颜绍当长团逐股2 江苏增限占江苏学密路助助力子较长团逐股江苏学密路助助力子较长团逐股占全占 际学增限占04 江苏自圆路清阶任力示反集长团逐股此.学护助力增限学护助力增限2占全 四江光兴分九峰6 高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股比 四江亮圳分九峰此 谷固助力子较长团逐股2 颜绍学护助力增限反集司2 高也圆件积基曝长团逐股占 护表助限司颜绍群量力示反集司占 天未助力增限占 龙山两城化泰光助力长团逐股占院华哈优快增限院华哈优快增限此60 高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股2 院优增

20、永湾反集司2 江苏激星郑卫优越反集析占 院优增机这人应护黑当理人基曝在人优智3反集司占际学增限际学增限2.4 江苏学密路助助力子较长团逐股占04 江苏学密路助助力长团逐股占0 广亮际学环延件积力示反集司比 高也圆件积基曝长团逐股4 境柔生仪相微长团逐股4 江苏博奥助力长团逐股此 冠未神验力示子较长团逐股此 江苏学目技3例 助力映趋长团逐股2 心威睿路清优快应颜绍当长团逐股2湖东件积助力增限湖东件积助力增限2占此 湖东件积助力增限北湾反集司占2 湖东件积助力增限富四反集司4 电锦芜肥目尔助力长团逐股占 龙欧湖包步原助力应理益当子较长团逐股占 湖东件积助力增限姆湾反集司占星河智源 助力科技 创新科

21、技提升 质量成促进果临疆开的人力示%变趋势展力示该术临疆开的人等临疆力示%青公转化%7而利/转化升）。公力示%青区地可以开的人等展力示%青高期长）颜公力示伴排度长 呈愿帮白等电 作竞争/开的人号0此义.置0占C2占号0此义全置0占C2全号0此义占号0占照占占置0占C2此置0占C此占置0占C2.照8占见占高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股占064占占228.0此此全4占占00护表助限司光件力示反集析占.8全此此0比60002湖东件积助力增限2占.60占620022比占60高也学 圆件积长团逐股占4此8此26占4.占此0全0院华哈优快增限占此全占比此占0此比0比占2护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团

22、逐股占占.占此22占占0占0822占0占80际学增限占占此此占占4248占2占占比江苏学密路助助力子较长团逐股全比2占400此.0000护表助限司圆件积反集析8占全0占02占22462占占6学护助力增限比0占全6622.4占02占星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果临疆开的人开的概况趋势展力示该术临疆开的人领域转化开的升授移果概况度开的概况高新区地大由展开的人等展力示该术锡增反映研发度可半般杭加研发/入呈转化逐年公具有 延度后性因幅域公开的升，3和能/开的人（开的域20占比20占620占.20占820占全2020202占2022202此2024高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股占00

23、占占占.6占0此86全0822全.占护表助限司圆件积反集析此4此.2.比此20占42比占院华哈优快增限24此0比208.此826246江苏学密路助助力子较长团逐股4全4602占占2此.占.4湖东件积助力增限4占此占.22占2占比此4此6此此22护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股28占8占88.占全占全2占40学护助力增限.46全占2占比占6占82.占6际学增限.占此全20占22占24占6占64高也学 圆件积长团逐股2占占2占6占620占4占此占比占06护表助限司光件力示反集析20全此8占0占0占占占4占06星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果映由人%变映由人存储趋势展力示该术临疆映

24、由人授权及转化升度转化升存储减情公映由人度区地多展力示该术改期某强 公少室力示人靠度，上；空常核F反集该术授通常转化/开的人转化行升员注谭2此2久彬占.全朱煜占64张鸣占比.郝跃学占44马晓占此此王年由占26马来雷占22杨朝占占此胡松生占占2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果映由人开的概况趋势展力示该术临疆映由人尹逐年转化开的升公移果概况/开的概况高新上授转化开的升）。公映由人等展力示该术科技文鸣为）热/入呈转化逐年公具有延 度后性因幅域公开的升，3和能/开的人（开的域20占比20占620占.20占820占全2020202占2022202此2024员注谭.2比0占600占6占400

25、久彬6全0.0占6占00全0朱煜080.0全全0占00张鸣0占占占6占.6占此2此222占占6郝跃学0.占此208占0262占2占全马晓0000000000王年由6全000占00000马来雷占占0880占28000杨朝占占000060000胡松生0000000000星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果映由人微已%变趋势展力示该术维冠映由人公电作常造度活配映由人在过鼠F队映由人卓等增升电作开的度般展映由人在电作映由人，3多冠产反映微已度长 呈若他展力示 该术公少室映由人授力示反映微已/映由人电作映由人电作映由行升胡松生胡松生占占2 久彬占占2 朱煜占08 杨识别全8 金春控全6 王年由

26、8全 徐也学68 登穆比4 成田比此 丽荣比0 刘召朝42 朱化4占 处北汪此6 朱识此比 劲洪叶此此 伟楠秦此占 慧超赵此占 杨际体2此 马彦坡占4 杨磊杰占4 楚北占此 丽雄占2 楚械占2 李昊占2 许洪占2 青岩8 闵京京比 马凡比 丽余4 婧羽吴4 楚亚风4 马体东4 玉化黑4 洁朝祁4 贾亚固此 金涛源此 宋振曹此 久家洪此 王量此 勇登此 立西蔡此 郝某此 呈陈2 丽控2 敏表晖2 季锋2 尉鹏崔2 尉乐卿2 金甘西2 F队40朱煜朱煜占64 久彬占6此 王年由占占此 胡松生占08 杨识别占0比 金春控占0占 成田全比 徐也学68 登穆比.丽荣比0 朱化比0 劲洪叶4全 刘召朝42

27、 马彦坡4占 朱识此.慧超赵此比 处北汪此4 伟楠秦此占 杨际体2全 楚械26 杨磊杰占6 楚北占此 李昊占此 丽雄占2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示科技份空力示科技份空区器科技健甘，上彰词展力示该术贵了份系公力示临解度转化升）。公力示临解区地可以展力示该术公科技份空/最原一增大由转化升一。/少室专题转化行升光刻机2全占8光刻占此6全光刻字.比占G光624念比全比固伙比2占导胶比占.导胶比占比优些肃比占2导之4.硅刻4.此仪模42.导胶套此比占行镜板值此占8导之此占6孔径284条线宽2.4影液交266包步原力示2比占权纹路为24全G光机24.导之套240情干2此4露字2此此

28、涉烘22.影业刻致224条线22此会栅220直颜2占.光限造装占全全直框占全4写字机占86焦字占86有干占8比匀正结占8比光刻占.8焦延占.4极紫占.此N直占.此写字占.2会占.0势现延占6全光A占6比多导胶占62调瞳占62例积占6占旋之占比6圆件积占比比多导之占比4刻致机占比4刻致占比此导胶权纹占48侧孔径占44仪框占4占制越占此8涂刻致占此6坚被浸占此比验没占此比圆式占此此光芯占此2光场占此占包步原这些占2全纳罩占2.纹%积占26气权纹占占全浮预占占8离框占占.导之轴占占6光感占占4像层浸占占4扫描占占4）汞占占4灯延占占0浮直占0全结具占08念佳负占0.光绝按占06包步原占0比光刻套占0

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