星河智源：2024年光刻机技术全景报告（37页）.pdf

1、光刻机制作人：星河智源报告生成时间：2024-08-26星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化专利转化概况趋势展力示该术领域逐年公转化开的升申请、升授权及请、对应率域开的公转化请、升（率域开的升当/开的升）。公域较多展力示该术份为）热公域较度开 的概况高新，上可以展力示该术反映研发投高新概况/入呈映由请、公于明周度转化逐年期长具有延度后性因2-此域公开的升近请、对，3和能/开的域偏低开的请、请、类型20占比15644此82比全部此2920占6156.64占260部全比920占.156全240此比8部24920占815全占8比6.6占部.6920占全15占占0比.0占6此部44920

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