芯源微-公司深度报告：涂胶显影设备国产替代先锋清洗+先进封装设备打开成长空间-240821（38页）.pdf

1、芯源微芯源微(688037688037)深度报告：深度报告：涂胶显影设备国产替代先锋，清洗涂胶显影设备国产替代先锋，清洗+先进封装设备打开成长空间先进封装设备打开成长空间评级：买入(首次覆盖)证券研究报告2024年08月21日半导体姚健(证券分析师)杜先康(证券分析师)S0350522030001S请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明2相对沪深300表现表现1M3M12M芯源微-19.2%-3.5%-30.1%沪深300-5.8%-9.7%-11.9%最近一年走势-39%-24%-9%6%21%36%2023/08/21芯源微沪深300市场数据2024/08/20当前价格（元）60.875

2、2周价格区间（元）60.52-168.88总市值（百万）12,193.76流通市值（百万）12,193.76总股本（万股）20,032.46流通股本（万股）20,032.46日均成交额（百万）128.99近一月换手（%）61.40请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明3核心提要核心提要u 投资逻辑投资逻辑国内涂胶显影设备国内涂胶显影设备龙头，浸没式机台持续签单。龙头，浸没式机台持续签单。涂胶显影机是唯一与光刻机联机作业的芯片制造核心设备，我们测算，2025年全球涂胶显影设备市场空间预计为45亿美元，中国大陆涂胶显影设备市场空间预计为18亿美元，其中KrF及以下节点、ArFi、其他涂胶显影设备

3、市场空间预计为9.4/6.0/2.7亿美元。目前中国大陆涂胶显影设备国产化率仅个位数，公司是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，现已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号设备，已陆续获得多个前道大客户订单及应用，2019-2023年公司光刻工序涂胶显影设备收入及销量CAGR分别为76%、48%，2022年12月公司发布第三代浸没式高产能涂胶显影机，全面覆盖国内28nm及以上所有光刻节点。近年日本政府加大半导体设备对华出口管制，涂胶显影设备国产替代有望加速，公司作为国内涂胶显影设备龙头有望优先受益。布局化学清洗布局化学清洗+先进封装设备，成长空间大幅提升。先

4、进封装设备，成长空间大幅提升。随着技术节点的进步和芯片结构的复杂化，清洗效果对产品最终良率的影响逐步加大，半导体清洗设备需求量有望持续提升。我们测算，2025年全球半导体清洗设备市场空间预计为60亿美元，中国大陆半导体清洗设备市场空间预计为24亿美元。公司物理清洗设备国内领先，现已成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型，近年积极布局前道化学清洗领域，叠加临时键合及解键合设备进入小批量销售阶段，有望打开长期成长空间。u 投资建议：投资建议：我们预计公司2024-2026年收入分别为22.75/29.93/38.42亿元，归母净利润分别为3.22/4.46/6.08亿元，对应EPS分别为1.61/

5、2.23/3.04元，对应PE分别为38X/27X/20X，公司是涂胶显影设备国产替代龙头，近年积极布局化学清洗、先进封装设备打开长期成长空间。首次覆盖，给予“买入”评级。u 风险风险提示：提示：新品研制不及预期；产品验证不及预期；下游客户扩产进度不及预期；行业竞争加剧风险；市场空间测算偏差风新品研制不及预期；产品验证不及预期；下游客户扩产进度不及预期；行业竞争加剧风险；市场空间测算偏差风险；研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险。险；研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险。请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明41 1、涂胶显影设备国产替代先锋、涂胶显影

6、设备国产替代先锋请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明5涂胶显影设备国产替代先锋涂胶显影设备国产替代先锋u 国内涂胶显影、单片湿法设备龙头，积极布局先进封装设备市场国内涂胶显影、单片湿法设备龙头，积极布局先进封装设备市场。2002年公司前身芯源半导体成立，2008年获批承担国家02重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目，2012年获批承担国家02重大专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，2019年成功登陆科创板，同年自研前道单晶圆清洗设备出厂进行工艺验证，2023年、2024年分别推出新品键合机、化学清洗机。公司是国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头，是国内唯一可