机械设备行业华海清科：CMP龙头乘“封”之势突破减薄踏国产浪潮布局离子注入-230730（29页）.pdf

1、 行业行业报告报告|行业深度研究行业深度研究 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 1 机械设备机械设备 证券证券研究报告研究报告 2023 年年 07 月月 30 日日 投资投资评级评级 行业评级行业评级 强于大市(维持评级)上次评级上次评级 强于大市 作者作者 李鲁靖李鲁靖 分析师 SAC 执业证书编号：S1110519050003 朱晔朱晔 分析师 SAC 执业证书编号：S1110522080001 资料来源：聚源数据 相关报告相关报告 1 机械设备-行业点评:摩托车行业2023年6月 销 售 数 据 更 新 2023-07-27 2 机械设备-行业研究周报:“阶段性底部+边际变化”逐

2、步演绎，一带一路峰会重视核心受益的工程机械+石油炼化 2023-07-24 3 机械设备-行业深度研究:3D 打印行业 长 坡 厚 雪，方 兴 未 艾 2023-07-18 行业走势图行业走势图 华海清科：华海清科：CMP 龙头乘“封”之势突破减薄，踏国产龙头乘“封”之势突破减薄，踏国产浪潮布局离子注入浪潮布局离子注入 CMP 设备介绍：设备介绍：伴随着工艺的不断进步与器件特征尺寸的持续缩小，有望持续带动 CMP 设备需求。细分来看，更先进的逻辑芯片会增加铜互连的层数，继而扩大 CMP 的需求;存储芯片向 3D 结构不断发展与层数的不断增加，推动抛光步骤次数近乎翻倍，带动 CMP 设备数量的增

3、长。根据我们的推算，2026 中国大陆 CMP 设备市场空间约为 117.79 亿元。华海清科，国产华海清科，国产 CMP 设备领军企业设备领军企业 公司定位高端半导体设备制造商，实控人为四川省国资委，股权结构稳定。下游客户优质，前五大客户包含中芯国际、长江存储及华虹集团。业务涵盖CMP 设备、晶圆减薄设备、离子注入设备、关键耗材和维保服务。横向布局背面减薄、离子注入、耗材及维保等领域，实现横向延展横向布局背面减薄、离子注入、耗材及维保等领域，实现横向延展 晶圆减薄设备方面，晶圆减薄设备方面，公司减薄设备具备技术水平优势，现已收获订单。根据我们的推算，2026 年中国大陆晶圆减薄设备市场空间约

4、为 44.50 亿元。离子注入设备方面，离子注入设备方面，公司持股鑫钰半导体（主营半导体离子注入机），后续有望实现国产替代。根据我们的推算，2026 年中国大陆离子注入设备市场空间约为 61.51 亿元。设备维保及耗材方面，设备维保及耗材方面，下游晶圆厂投产结合 CMP 步骤增加将扩充设备维护及耗材市场空间。此外，公司开展晶圆再生业务，环节中涉及 CMP 设备，具备技术积累。根据我们的预测，根据我们的预测，2026 年中国大陆市场年中国大陆市场的的 CMP、晶圆减薄、离子注入三类、晶圆减薄、离子注入三类设备设备市场空间市场空间分别为分别为 117.79、44.50、61.51 亿元，公司合计可

5、触及市场空亿元，公司合计可触及市场空间为间为 223.8 亿元。亿元。风险风险提示提示：技术创新风险、核心技术人员流失或竞争不足的风险、核心技术失密风险、下游客户扩产不及预期的风险、客户相对集中的风险、研究员分析误差风险 -18%-15%-12%-9%-6%-3%0%2022-082022-122023-04机械设备沪深300 行业报告行业报告|行业深度研究行业深度研究 请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明 2 内容目录内容目录 1.CMP 设备介绍设备介绍.5 1.1.CMP 环节，全局纳米级平坦化之关键.5 1.2.制程&工艺不断进步，CMP 设备需求不断上升.6 2.华海清科，国产华海

6、清科，国产 CMP 设备领军企业设备领军企业.9 2.1.定位高端半导体设备制造商，股权结构稳定&下游客户优质.9 2.2.公司技术水平优异，产品范围覆盖半导体制造多个环节。.11 2.3.公司营收连续实现高增.14 2.4.CMP 设备技术水平优异，或持续受益于国产替代.16 3.横向布局背面减薄、离子注入、耗材及维保等领域，实现横向延展横向布局背面减薄、离子注入、耗材及维保等领域，实现横向延展.18 3.1.背面减薄业务，充分受益于 Chiplet 与大算力芯片浪潮.18 3.2.参股公司进入离子注入赛道.21 3.3.耗材及维保服务，有望受益于下游扩产.23 3.3.1.CMP 设备相关