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高压汞灯的光谱分布
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半导体行业深度分析报告:光刻为半导体设备之巅冰山峰顶待国产曙光-230223(54页).pdf
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i 线(365nm 波长)及以上波长光刻机使用的光源是高压汞灯。高压汞灯能提供254~579nm波长的光。使用滤波器可以选择性的使用 i线(365nm)、H线(405nm)或 G 线(436nm)为光刻机提供照明光源。
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图93.福晶科技发展历程
图91.美埃科技产品结构
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