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高纯四氯化硅分类
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➢ 高纯四氯化硅也可用于生产正硅酸乙酯(TEOS),高纯正硅酸乙酯是气凝胶主要原料;电子级正硅酸乙酯主要用于集成电路制造过程中的化学气相沉积(CVD)薄膜制程。目前工业合成正硅酸乙酯的方法主要为四氯化硅法、硅粉法,工业级TEOS的制备工艺已经比较成熟,但国内尚无电子级TEOS的制备企业。目前洛阳中硅、金宏气体采用吸附联合精馏技术制备百吨级的电子级正硅酸乙酯。
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