持股光刻机生产公司，成长价值可期。张江高科通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司（张江浩成），间接持股上海微电子装备 9.09%的股权。当期光刻机设备市场龙头集中，EUV 光刻机被 ASML 垄断。全球光刻机出货量 99%集中在 ASML，尼康和佳能。其中 ASML 份额最高，达到 67.3%。上海微电子是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产 IC 前道光刻机的企业，是大陆光刻设备龙头企业，在中国大陆市场份额已经超过 80%。