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图7、在轴照明与离轴照明
图7、在轴照明与离轴照明
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光刻机行业深度报告:半导体设备皇冠上的明珠自主可控大势所趋-250304(26页).pdf
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2)离轴照明技术 OAI,将照明光线由正入射改为倾斜入射,与物镜主光轴形成一定夹角,使得同等 NA 下可容纳光量提升,以提升分辨率。
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光刻机行业深度报告:半导体设备皇冠上的明珠自主可控大势所趋-250304(26页).pdf
2026年光刻机行业报告:ASML EUV垄断100%,设备支出1232亿美元趋势|兴业证券
表6、相关公司盈利预测、估值
表5、国内光刻机重点项目主要产业化落地公司及进展情况
表4、美国对华半导体制裁时间线梳理
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