【华源证券】芯源微（688037）-国内领先大湿法设备厂商，北方华创获得控制权再添新动能-250724（4页）.pdf

1、请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明证券研究报告证券研究报告电子电子|半导体半导体非金融非金融|首次覆盖报告首次覆盖报告hyzqdatemark投资评级投资评级：买入买入（首次）（首次）证券分析师证券分析师葛星甫SAC：S联系人联系人市场表现：市场表现：基本数据基本数据20252025 年年 0707 月月 2121 日日收盘价（元）104.71一 年 内 最 高/最 低（元）120.00/56.18总市值（百万元）21,075.80流通市值（百万元）21,075.80总股本（百万股）201.28资产负债率（%）50.24每股净资产（元/股）13

2、.47资料来源：聚源数据芯源微芯源微(688037.SH)(688037.SH)国内领先大湿法设备厂商，北方华创获得控制权再添新动能投资要点：投资要点：芯源微是国内领先的大湿法设备龙头，致力于为客户提供半导体前后道装备与工艺芯源微是国内领先的大湿法设备龙头，致力于为客户提供半导体前后道装备与工艺的整体解决方案。的整体解决方案。公司不断优化产品布局，目前已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备以及临时键合、解键合设备和化合物等小尺寸设备的产品矩阵。涂胶显影设备技术攻坚，产业化应用不断深化。涂胶显影设备技术攻坚，产业化应用不断深化。涂胶显影设备作为集成电路制造过程中的关键处理设备，是

3、半导体产线上唯一与光刻机联机作业的工艺设备。机台具有极强的技术壁垒和非标属性：1）涂胶显影设备结构复杂，机台集成度高，工艺流程路径长，同时还面临膜厚层差、显影缺陷多变、环境颗粒控制、在线检测等诸多难题；2）设备与客户具体制造工艺和光刻胶材料等相关性密切，具有较高验证成本。公司是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已成功开发 Offline、I-line、Krf 以及 Arf 浸没式等多种型号产品。经过长期的技术攻坚和客户端验证与量产，截至 2024 年相关产品已完成晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点的覆盖，并不断向更高工艺演进。此外公司持续研发新一代超高产能涂胶显影机架构 FTE

4、X 并积极寻求客户端验证，通过自主设计的先进机台架构提升整体产能，以匹配未来光刻机产能提升需求。公司 2024 年前道涂胶显影机持续获得国内逻辑、存储、功率客户订单，I-line、Krf 机台客户端跑片数据良好，产品认可度持续提升，同时公司持续推进 Arf 浸没式高产能涂胶显影机客户端导入与验证。公司在全球前道涂胶显影设备市场长期被日本垄断，国产化率低、市占率小的大背景下，坚持自主创新抢滩市场，提供高端涂胶显影设备的国产替代选择。布局及快速推动化学清洗设备研发及量产落地，清洗业务规模再上一层楼。布局及快速推动化学清洗设备研发及量产落地，清洗业务规模再上一层楼。公司前道物理清洗机凭借高产能、高颗

5、粒去除能力和高性价比等优势获得下游客户认可，目前已成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型，2024 年公司物理清洗机获得国内领先逻辑客户批量订单。公司于 2024 年 3 月首次发布前道化学清洗机，可适用于高温 SPM 工艺以及多种前段和后段工艺清洗过程。机台具备高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核心优势，整体工艺覆盖率达 80%以上。高温 SPM清洗工艺作为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，设备市场长期被日本DNS垄断，国产化诉求强烈。公司推出的机台在三大核心指标（26nm 颗粒控制、刻蚀率及均一性、金属离子控制）可对标海外龙头，目前该设备成功通过客户端验证，获得国内

6、多家大客户订单及验证性订单，未来有望打造公司业绩增长新动能，与涂胶显影设备形成技术协同与商务协同，实现良性稳健长期成长。封测市场复苏助推公司后道设备需求高增长，后道先进封装设备品类持续拓宽。封测市场复苏助推公司后道设备需求高增长，后道先进封装设备品类持续拓宽。公司后道涂胶显影机、单片式湿法设备连续多年服务于国内外一线大厂，2024 年得益于下游市场景气度回升，客户下单意愿积极，后道涂胶显影机、单片式湿法设备获得国内多家客户的批量重复订单，签单规模同比良好增长，在 2024 年持续获得海外封装龙头客户批量重复订单。公司后道先进封装涂胶显影设备及单片式湿法设备技2 20 02 25 5 年年 0