【公司研究】芯源微--打破TEL绝对垄断推动涂胶显影设备国产化-20200514[29页].pdf

1、 机械设备机械设备 | 证券研究报告证券研究报告 首次评级首次评级 2020 年年 5 月月 14 日日 688037.SH 买入买入 原评级原评级: 未有评级未有评级 市场价格市场价格:人民币人民币 120.75 板块评级板块评级:强于大市强于大市 本报告要点本报告要点 涂胶显影设备国产化涂胶显影设备国产化. 股价表现股价表现 (9%) 22% 53% 85% 116% 147% May-19 Jun-19 Jul-19 Aug-19 Sep-19 Oct-19 Nov-19 Dec-19 Jan-20 Feb-20 Mar-20 Apr-20 芯 源 微上证综指 (%) 今年今年 至今至今

2、 1 个月个月 3 个月个月 12 个月个月 绝对 58.5 4.4 (24.2) 0.0 相对上证指数 64.8 1.0 (23.0) 1.6 发行股数 (百万) 84 流通股 (%) 100 总市值 (人民币 百万) 10,143 3个月日均交易额 (人民币 百万) 487 净负债比率 (%)(2020E) 净现金 主要股东(%) 沈阳先进制造技术产业有限公司 17 资料来源：公司公告，聚源，中银证券 以2020年5月12日收市价为标准 中银国际证券股份有限公司中银国际证券股份有限公司 具备证券投资咨询业务资格具备证券投资咨询业务资格 机械设备机械设备 : 专用设备专用设备 杨绍辉杨绍辉

3、(8621)20328569 证券投资咨询业务证书编号：S1300514080001 陈祥陈祥 (8610)66229352 证券投资咨询业务证书编号：S1300519040001 芯源微芯源微 打破TEL绝对垄断，推动涂胶显影设备国产化 沈阳芯源微电子成立于沈阳芯源微电子成立于 2002 年，与中微半导体、北方华创、盛美半导体、年，与中微半导体、北方华创、盛美半导体、上上 海睿励等同样耕耘海睿励等同样耕耘 10 多年，致力于集成电路工艺设备国产化。公司是国内唯多年，致力于集成电路工艺设备国产化。公司是国内唯 一一家研发与制造涂胶显影设备的企业，目前已有前道一一家研发与制造涂胶显影设备的企业，

4、目前已有前道 I-line 涂胶显影机在长涂胶显影机在长 江存储上线进行工艺验证，前道江存储上线进行工艺验证，前道 Barc（抗反射层）涂胶设备在上海华力（抗反射层）涂胶设备在上海华力通过通过 验证验证，已陆续获得株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、已陆续获得株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、 厦门士兰等多个前道大客户的订单，厦门士兰等多个前道大客户的订单，涂胶显影设备的进口替代已经起航。涂胶显影设备的进口替代已经起航。 支撑评级的要点支撑评级的要点 国内集成电路工艺设备企业中，芯源微电子是定位于涂胶显影设备的唯国内集成电路工艺设备企业中，芯源微电子是定位于涂

5、胶显影设备的唯 一厂商。一厂商。沈阳芯源微电子成立于 2002年，和睿励、安集微电子、盛美半 导体、上海微、中微半导体、北方微等老牌国产半导体设备制造商一样， 诞生于同一个时代，至今已有 18年经营历史和技术积淀。公司集成电路 客户主要包括台积电、上海华力、中芯国际、长江存储、华为、华天科 技、长电科技、通富微电等。 全球涂胶显影设备市场规模将增至全球涂胶显影设备市场规模将增至25亿美元，亿美元， EUV工艺是增量工艺是增量。 根据VLSI、 TEL等的预计， 2022-2023年全球涂胶显影设备市场规模将达到 25亿美元， 相比 2018 年，EUV 工艺是整体市场规模增量的主要来源。中国（

6、含台湾 地区）前道涂胶显影设备销售额预计由 2018年的 8.96亿美元，增至 2023 年的 10.26亿美元。 国内外涂胶显影设备国内外涂胶显影设备被被 TEL 垄断垄断，国产化处于初期，国产化处于初期。全球涂胶显影设备 市场上 TEL市占率达到 87%， 而 DNS、 SEMES、 Suss 等合计占比仅为 13%。 TEL在中国大陆涂胶显影设备市场中的市占率约超过 90%， 我国涂胶显影 设备的国产化率不超过 5%，一线主流客户的涂胶显影设备国产化率接近 为零，远低于刻蚀设备、清洗设备、CMP和 PVD设备国产化进程。 芯源的涂胶显影设备已进入多条晶圆产线。芯源的涂胶显影设备已进入多条