半导体设备行业动态研究：半导体零部件国产化加速关注细分赛道领跑者-231224（18页）.pdf

1、国海证券研究所请务必阅读正文后免责条款部分2023 年年 12 月月 24 日日行业研究行业研究评级：推荐评级：推荐(首次覆盖首次覆盖)研究所：证券分析师：姚健S证券分析师：杜先康STable_Title半导体零部件国产化加速半导体零部件国产化加速，关注细分赛道领跑者关注细分赛道领跑者半导体半导体设备行业动态研究设备行业动态研究最近一年走势行业相对表现2023/12/22表现1M3M12M专用设备-3.3%-2.1%1.5%沪深 300-5.8%-10.7%-13.0%投资要点投资要点:半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛。半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛。根据 IDC 预测，20

2、24E 半导体市场规模由 6259 亿美元上调至 6328 亿美元，同比增长 20.2%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢复增长。根据 SEAJ 数据，2023Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长 42.2%，随着中国大陆成熟制程持续建设，半导体设备市场有望长期稳健增长。零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者。零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者。半导体零部件市场规模约为设备市场规模的 50%-55%，我们测算，2022 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为 1061 亿元。半导体零部件种类繁多，行业碎片化特征显著，目前国产化率普遍较低，晶圆扩产叠加设备国产化

3、加速，半导体零部件国产替代空间广阔。正帆科技正帆科技：Gasbox 是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，我们测算，2022 年中国大陆 Gasbox 市场规模超过 50 亿元。2022 年公司布局 Gasbox 业务，2023 年产品已经全面稳产，目前已向北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于Gasbox 国产替代加速。汉钟精机汉钟精机：干式真空泵可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模超过 18 亿元，未来五年中国大

4、陆仅 12英寸扩产贡献真空泵增量市场规模为 127 亿元、年均约 25 亿元。目前公司真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程均有应用，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。随着台中厂三期及上海厂三期产能建设顺利完成，真空泵成长空间有望进一步打开。英杰电气英杰电气：射频电源可用于刻蚀、薄膜沉积和离子注入等半导体设备，我们测算，2022 年中国大陆半导体射频电源市场规模约为 44亿元。2023 年 10 月起，公司射频电源订单呈现批量上升状态，目前已超 9000 万元。公司和中微公司已经合作多年，同时和业内其他知名企业也有合作，随着产品验证及客户拓展持续加速，半导体电证券研究报告

5、请务必阅读正文后免责条款部分2源业务有望步入快速成长期。美埃科技美埃科技：洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率，先进制程持续发展将对洁净度提出更高要求。风机过滤单元业务，公司产品性能领先、客户基础牢固，目前在国内半导体洁净室领域市占率约 30%、位居行业第一，受益高管全球化背景、制造基地海内外协同布局，2020-2022 年海外收入 CAGR 接近 50%。过滤器业务，具备收入稳定、高毛利率双重优势，国内方面，公司通过持续降本、节能改造等方式增加客户黏性，进而提升耗材复购率；海外方面，受益产品性价比、售后服务质量等优势，海外客户认证持续加速，耗材业务有望开启广阔增长空间。投资建议投

6、资建议 半导体设备零部件国产替代空间广阔，细分赛道领先企业有望优先受益，重点关注正帆科技（gasbox）、汉钟精机（真空泵）、英杰电气（射频电源）、美埃科技（洁净装备及耗材）等，首次覆盖，给予“推荐”评级。风险提示风险提示 半导体市场需求恢复不及预期；半导体行业资本开支不及预期；半导体设备及零部件国产化不及预期；国外对华半导体设备限制力度变化风险；关注标的产品研发及客户验证进度不及预期；重点关注公司业绩不达预期风险。uZkYaXqUnYoXbWsUvXkX7NbP9PmOoOmOnOjMqRpNeRnPmRaQrQpPuOmQqNuOpNwP证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分3重点关注公