1、 1/24 2023 年年 6 月月 2 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 行业研究报告 慧博智能投研 电子特气行业深度：电子特气行业深度：竞争格局与壁垒分析、竞争格局与壁垒分析、国产替代前景及相关企业深度梳理国产替代前景及相关企业深度梳理 电子特种气体作为半导体制造的关键材料，被誉为半导体产业的“血液”，直接影响半导体产品的性能。目前，国内半导体用电子特气市场超过八成的市场份额被外资企业垄断，特别是高端电子特气国内自给率低，对我国半导体产业的健康稳定发展形成制约。在国际贸易摩擦、地缘政治冲突的复杂背景下，半导体材料自给率的提升迫在眉睫。我国特种气体行业经过多年的发展和沉淀，通过不断

2、的经验积累和技术进步，业内领先企业已在部分产品上实现突破，达到国际标准，逐步实现了进口替代，特种气体国产化具备了客观条件。电子特气在技术进步、需求拉动、国家政策刺激等多重因素的影响下，国产化进程有望持续向深层次推进。以下我们将聚焦电子特气行业，对电子特气的行业现状、细分品种、驱动因素、行业壁垒进行分析，并以此为基础，对行业竞争格局、国产替代、相关企业进行分析，同时对行业发展前景进行展望，以便帮助大家更全面地了解该行业的现况及未来发展。目录目录 一、行业概述.1 二、细分品种.4 三、驱动因素.9 四、行业壁垒.13 五、竞争格局.15 六、国产替代.18 七、相关企业.19 八、发展前景.22

3、 九、参考研报.23 一、行业概述一、行业概述 1、电子气体：现代工业的原料基石电子气体：现代工业的原料基石 广义的“电子气体”指电子工业生产中使用的气体，为重要的工业生产原材料之一。狭义的“电子气体”特指半导体行业所使用的特种气体。工业中把常温常压下呈气态的产品统称为电子气体。根据战略性新兴产业分类（2018），电子气体可分为电子特种气体和电子大宗气体，其中电子气体已经成为现代工业不可或缺的基础原料。随着中国经济的快速发展，电子气体作为基础产业，在国民经济中的重要性日益突出。其上游行业是原材料和设备：原材料包含空气、工业废气、基础化学原料等；设备分为气体分 2/24 2023 年年 6 月月

4、 2 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 离及纯化设备制造、压力容器设备制造等。下游广泛应用于石油、化工、冶金、钢铁、机械、电子、电力、玻璃、陶瓷、建材、食品以及医疗等领域。2、特点：、特点：电子特气产品高端，被称为半导体材料的电子特气产品高端，被称为半导体材料的“粮食粮食”与与“源源”电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。相较于一般的工业气体，电子特气对气体的纯度、质量稳定性与一致性、包装容器等要求更高。例如在纯度方面，普通工业气体要求在99.99%左右，但是在先

5、进制程的集成电路制造过程中，气体纯度要求通常在 5N（99.999%）以上。3、主要作用：贯穿晶圆制造全环节主要作用：贯穿晶圆制造全环节 电子特气作为芯片加工的“血液”，基本贯穿晶圆制造全流程，具体包括生产外延片、清洗、沉积和氧化成膜、光刻、刻蚀、掺杂（离子注入/扩散）等环节，各环节特气纯度均会对最终出厂晶圆的精度和性能造成影响，因此半导体领域对特气纯度和精度要求较高；同时电子特气也可作用于光伏电池和 LCD液晶面板生产中的刻蚀、扩散环节，作为原料在光伏电池表面生成“减少反射膜”，或作为保护气和设备清洗气。1UhUvXaVkY9YnXnXgYcVdUtR9PbP8OoMqQtRmPfQpPpR

6、iNrRrN9PsQqQNZpOoQuOrNvM 3/24 2023 年年 6 月月 2 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 4、供应模式、供应模式：分为零售供气和现场供气分为零售供气和现场供气 电子气体在工业生产中应用广泛，气体行业的经营模式可以分为零售供气和现场供气电子气体在工业生产中应用广泛，气体行业的经营模式可以分为零售供气和现场供气。其中，现场供气包括现场制气和管道供气，零售供气包括瓶装供气和液态供气（又称储槽供气），共四种供气模式。4/24 2023 年年 6 月月 2 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 瓶装气体模式瓶装气体模式：指采用工业气瓶供应气体的模式，主要