1、 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。1 20222022 年年 1212 月月 1 12 2 日日 电子电子 行业深度分析行业深度分析 芯片良率的重要保障，量检测设备国芯片良率的重要保障，量检测设备国产替代潜力大产替代潜力大 证券研究报告证券研究报告 投资评级投资评级 领先大市领先大市-A A 维持维持评级评级 首选股票首选股票 目标价（元）目标价（元）评级评级 688012 中微公司 148.00 买入-A 300604 长川科技 80.68 买入-A 688200 华峰测控 532.89 增持-A 688001 华兴源创 40.32 买入-A 行业表现行业表现 资

2、料来源：Wind 资讯 升幅升幅%1M1M 3M3M 12M12M 相对收益相对收益 -7.3-5.3-12.1 绝对收益绝对收益 -1.7-7.3-32.8 马良马良 分析师分析师 SAC 执业证书编号：S1450518060001 郭旺郭旺 分析师分析师 SAC 执业证书编号：S1450521080002 相关报告相关报告 台湾光罩急单涨价，掩膜版景气度高企 2022-12-04 欧盟敲定芯片法案，汽车芯片需求持续旺盛 2022-11-27 景气度趋于底部区间，IC设计板块低位静待反转 2022-11-20 中芯国际加大资本开支，利好上游设备材料企业 2022-11-13 VR 计划重磅出

3、台，Intel 服务器 CPU 即将发布，关注产业链布局机遇 2022-11-07 半导体量检测设备是芯片良率重要保障：半导体量检测设备是芯片良率重要保障：半导体检测设备分为前道和后道，贯穿芯片制造的各个环节，是芯片良率的重要保障。从市场规模来看，前道量检测设备 2021年市场规模 114 亿美元，后道测试设备市场规模 78 亿美元，在前道设备中市场规模仅次于光刻机、薄膜沉积和刻蚀设备。从技术路径来看，前道量检测设备可以分为光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术，其中光学检测具备精度高、速度快等优势，是目前主流的技术路径。海外巨头垄断前道量检测设备：海外巨头垄断前道量检测设备：根据 s

4、emi 数据统计，2020 年全球量测设备市场上，KLA 市占率51%，应用材料市占率 12%，日立科技市占率 9%，行业前五大公司合计市场份额占比超过了 80%，全球市场高度集中。从国内市场来看，目前国内市场国产化率较低，2020 年我国半导体前道量测检测设备国产化率约为 2%，国产替代空间巨大。量检测设备国产替代持续推进，潜力巨大；量检测设备国产替代持续推进，潜力巨大；目前来看，国内在前道量检测设备已经实现了部分产品的突破，其中上海睿励主要聚焦于薄膜测量和尺寸光学检测设备，已成功进入三星和长江存储生产线，新研制的缺陷检测设备也已进入下游客户厂家；上海精测在膜厚产品（含集成式膜厚产品）、电子

5、束、OCD 量测等设备产品和相关技术通过自主研发均实现了技术突破，获得了国内一线客户的批量订单或验证通过；中科飞测在无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备系列具备较强竞争力，并获得了中芯国际、长电科技、长江存储等国内龙头客户订单，填补了国内量测设备市场的关键空缺领域。后道测试设备国产替代空间巨大，后道测试设备国产替代空间巨大，SoCSoC 测试机国产化快速推进：测试机国产化快速推进：据 SEMI 数据，后道测试设备市场规模 2020 年 为 60.1 亿美元，预计 2021/2022 年为 78/82 亿美元，同比增长 30%/5%。在后道测试设备中，测试机在整体占比达

6、到 63%，其中 SoC、存储、模拟、射频测试机占比分别为 50%、30%、12%、8%。目前，全球测试设备市场绝大部分被爱德万、泰瑞达、科休等海外厂商占据，国内在模拟测试机上率先突破，国产化率已经达到较高水平，但是在 SoC、存储、射频测试机上国产化率依然较低，其中长川科技是国内 SoC 测试机的龙头，公司产品在核心性能以及指标上接近国外主流水平，在国内 IC 客户的份额正快速提高。-41%-31%-21%-11%-1%9%19%29%39%2021-122022-042022-082022-12电子电子沪深沪深300300 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。2 行