微导纳米-公司研究报告-立足ALD布局光伏&半导体拓展CVD打开成长空间-240129（34页）.pdf

1、证券研究报告公司深度研究光伏设备 东吴证券研究所东吴证券研究所 1/34 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 微导纳米（688147）立足立足 ALD 布局光伏布局光伏&半导体半导体，拓展拓展 CVD 打打开成长空间开成长空间 2024 年年 01 月月 29 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 研究助理研究助理 李文意李文意 执业证书：S0600122080043 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元)35.13 一年最低/最高价 30.48/63.29 市净率(倍)7.28 流通

2、 A 股市值(百万元)2,892.29 总市值(百万元)15,965.02 基础数据基础数据 每股净资产(元,LF)4.83 资产负债率(%,LF)68.36 总股本(百万股)454.46 流通 A 股(百万股)82.33 相关研究相关研究 增持（首次）Table_EPS 盈利预测与估值盈利预测与估值 2022A 2023E 2024E 2025E 营业总收入（百万元）685 1,650 4,182 4,918 同比 60%141%154%18%归属母公司净利润（百万元）54 279 597 811 同比 17%416%114%36%每股收益-最新股本摊薄（元/股）0.12 0.61 1.31

3、 1.78 P/E（现价&最新股本摊薄）294.83 57.14 26.72 19.70 Table_Tag 关键词：关键词：#第二曲线第二曲线#新产品、新技术、新客户新产品、新技术、新客户#平台化布局平台化布局 Table_Summary 投资要点投资要点 微导纳米微导纳米为为 ALD 设备龙头，设备龙头，依托这一依托这一平台型技术平台型技术拓展光伏拓展光伏&半导体领半导体领域的应用域的应用。微导纳米成立于 2015 年，将 ALD 应用至光伏（2022 年收入占比 73%）、半导体（2022 年收入占比 7%）、新型显示等领域。ALD 技术：自限制性优势明显，应用领域广泛技术：自限制性优势

4、明显，应用领域广泛。相较于 PVD、CVD 等薄膜沉积技术，ALD 最大的特点在于自限制性，这一特点使其具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和内部结构复杂的领域应用，包括光伏、半导体等。光伏光伏 ALD 适用多条技术路线，微导纳米为国内适用多条技术路线，微导纳米为国内龙头龙头。ALD 设备可用于PERC、TOPCon、钙钛矿等，公司均有相应布局，ALD 设备市占率领先，并拓展了 PECVD、PEALD、扩散退火、TOPCon 整线工艺解决方案等，受益于下游扩产，2023 年公司光伏领域新签订单为去年同期的 2.92 倍。半导体半导体先进逻辑及存储领域先进逻辑及存

5、储领域 ALD 渗透率提升渗透率提升。随着 45nm 以下先进制程的发展，原来用于成熟制程的 PVD、CVD 等无法满足部分工序要求，ALD 的应用环节逐步拓宽，其膜厚精度控制和高台阶覆盖率的特性适合在 45nm 以下节点以及复杂的 3D 结构等领域应用。（1）逻辑：逻辑：45nm先进制程下栅介质层适用high-K材料，ALD适用于沉积该种材料，20nm先进制程下器件由 MOSFET 转向结构更复杂的 FinFET，5nm 以下向GAAFET 转变，ALD 高覆盖率的优势显著；（2）存储：存储：3D NAND、DRAM等存储器件的复杂结构需要高深宽比，ALD 具备良好的台阶覆盖能力。存储领域空

6、间更大存储领域空间更大&头部存储器厂头部存储器厂有望重启扩产有望重启扩产，微导纳米为，微导纳米为 ALD 龙龙头充分受益头充分受益。相较于逻辑，ALD 在存储领域具备更大的市场，相近制程下存储所需的 ALD 设备数量约为逻辑的 4-5 倍；一线存储厂商 2023 年受政策影响扩产暂缓，未来随着国产技术突破及国产设备引入，资本开支有望加速，利好国产设备商，目前 ALD 设备 TEL 和 ASM 合计占比约 75%，微导纳米为国内 ALD 领军者，逻辑&存储市场开拓顺利，2023年半导体领域新签订单是去年同期的 3.29 倍。依托依托 ALD 技术延展性技术延展性&客户协同性，客户协同性，微导纳米