半导体行业深度分析报告：光刻为半导体设备之巅冰山峰顶待国产曙光-230223（54页）.pdf

1、 半导体/行业深度分析报告/2023.02.23 请阅读最后一页的重要声明！光刻为半导体设备之巅，冰山峰顶待国产曙光 证券研究报告 投资评级投资评级:看好看好(维持维持)最近 12 月市场表现 分析师分析师 张益敏 SAC 证书编号：S0160522070002 相关报告 1.细致检测攻坚克难，精准度量引领进步 2022-12-03 光刻设备行业报告光刻设备行业报告 核心观点核心观点 光刻是光刻是半导体半导体生产中最重要的工艺步生产中最重要的工艺步骤骤：光刻是半导体器件制造的是半导体器件制造的最最核心核心步骤步骤，直接决定集成电路的性能直接决定集成电路的性能和良率和良率。光刻机的核心工艺指标包

2、括：分辨率、分辨率、聚焦深度、套刻精度、曝光功率及单位时间产能聚焦深度、套刻精度、曝光功率及单位时间产能等。主流的光刻机均采用浸没系统、可编程光照、畸变修正、热效应修正、对准与表面测量等高难度技术。光刻设备均具有高技术附加值光刻设备均具有高技术附加值,毛利率毛利率超过超过 50%。成熟工艺成熟工艺领域为主领域为主，国内，国内光刻设备市场光刻设备市场广阔广阔：中国大陆以成熟制程为主的半导体产线不断扩产，产生了大量光刻设备的需求。2021 年年 ASML 有有高达高达27.4 亿欧元亿欧元的营收来自中国大陆的营收来自中国大陆（其全球第三大市场）；全球光刻设备市场规全球光刻设备市场规模超模超 180

3、 亿美元，显亿美元，显影涂胶设备市场超影涂胶设备市场超 30 亿美元亿美元。国产光刻曝光设备尚处于实验阶段；显影涂胶设备已覆盖浸没式 ArFi 工艺节点，突破动能强劲。光刻光刻机上游零部件市场机上游零部件市场有待发掘：有待发掘：光刻光刻机机的运行需的运行需光源、光源、照明照明、掩膜台掩膜台、物镜、工件台物镜、工件台等多个等多个精密精密系统系统组合工作组合工作，全球光刻零件市场至少，全球光刻零件市场至少约约 70 亿美元亿美元（按（按 50%毛利率推算）毛利率推算）。相比其他半导体零件，光刻机零件单个价值量高，技术难度大。贸易限制导致海外供应链风险剧增，国内国内光学企业成为不二之选，光学企业成为

4、不二之选，技术能力与对应产品的盈利能力有望加速成长。技术能力与对应产品的盈利能力有望加速成长。投资建议投资建议：在光刻光刻配套设备配套设备与零件与零件方面，建议关注苏大维格苏大维格（300311.SZ）、茂莱茂莱光学光学(688502.SH)、芯源微芯源微（688037.SH）、精测电子精测电子（300567.SZ）、盛美上盛美上海海（688082.SH）、美埃科技美埃科技（688376.SH）、炬炬光科技光科技（688167.SH）、福晶科技福晶科技（002222.SZ）等。风险提示：风险提示：半导体行业景气度下滑，光刻设备需求不及预期；贸易保护主义因素导致国内晶圆厂扩产放缓；光刻设备与组件

5、技术难度大，相关研发进度可能慢于预期。-36%-29%-21%-14%-7%0%半导体沪深300半导体/行业深度分析报告/2023.02.23 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 2 行业深度分析报告/证券研究报告 表表 1：重点公司投资评级：重点公司投资评级:代码代码 公司公司 总市值总市值（亿元）（亿元）收盘价收盘价（02.22）EPS（元）（元）PE 投资评级投资评级 2021A 2022E 2023E 2021A 2022E 2023E 300331 苏大维格 63.23 24.35-1.44-1.10 0.77-23.15-22.14 31.62 增持 688502 茂

6、莱光学 0.00 0.00 1.19 0.00 未覆盖 688037 芯源微 193.55 208.97 0.92 1.80 2.60 183.48 116.09 80.37 增持 300567 精测电子 177.90 63.96 0.72 0.90 1.30 100.60 71.07 49.20 增持 300260 新莱应材 167.43 73.90 0.75 1.49 1.97 62.89 49.60 37.51 增持 688376 美埃科技 51.21 38.10 1.07 1.15 1.42 0.00 33.13 26.83 增持 688409 富创精密 239.57 114.60 0