SEMI 标准规定湿电子化学品的金属杂质含量、颗粒控制粒径等质量要求,根据国际标准可分为 G1-G5 五个等级；部分品类也采用单独的 SEMI 标准。在湿电子化学品领域，以上指标是影响电子信息产品成品率、电性能及可靠性的核心因素，同时也是评估产品质量的重要技术指标。产品技术水平的先进性主要通过国际通用的标准等级进行衡量，并结合产业化应用成果及客户认可度进行验证。此外，SEMI 基于湿电子化学品在全球的应用及发展情况，针对不同品种制定了多项指导性标准，例如当前电子级磷酸适用的SEMI 标准为 SEMI C36-1121。