半导体光刻胶产品类型概况 行业起步较晚,目前生产能力主要聚焦于中低端产品。本土企业如晶瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华)和华懋科技(徐州康博)等,已在G/I线、KrF和ArF光刻胶领域取得一定进展,但EUV光刻胶技术仍处于空白状态。 行业数据 下载Excel 下载图片 原图定位