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1、光刻机行业深度报告（一）：核心光刻机行业深度报告（一）：核心部件篇，曙光已现部件篇，曙光已现评级：推荐(首次覆盖)证券研究报告2025年07月06日半导体杜先康(证券分析师)S 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明2沪深300表现表现1M3M12M半导体6.0%0.1%48.9%沪深3002.5%0.5%13.7%最近一年走势相关报告茂莱光学(688502)2024年报及2025年一季报点评：半导体收入显著增长，多点开花成长可期（增持）*杜先康2025-05-02富创精密(688409)2024年报及2025年一季报点评：国内外产能持续布局，平台化战略加速（买入）*杜先康2025-05-0

2、2美埃科技(688376)2024年报及2025年一季报点评：存货及合同负债同比高增，海外持续快速放量（买入）*杜先康2025-04-29福光股份(688010)2024年报及2025年一季报点评：定制产品收入高增，2024年毛利率显著提升（买入）*杜先康2025-04-24腾景科技（688195）2024年报点评：归母净利润高增，产品矩阵持续丰富（买入）*杜先康2025-03-24-20%-1%18%37%56%75%2024/07/042025/07/04半导体沪深300 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明3重点关注公司及盈利预测重点关注公司及盈利预测重点公司代码股票名称2025/0

3、7/04EPSPE投资评级股价20242025E2026E20242025E2026E688010福光股份29.400.060.310.50490.0094.8458.80买入002222福晶科技33.260.470.590.7171.4856.8547.18未评级688502茂莱光学268.000.671.201.58400.00223.33169.62增持301421波长光电73.620.320.410.59230.06179.35126.21未评级301392汇成真空114.210.761.031.52150.28110.8875.25未评级603297永新光学83.091.882.73

4、3.4944.2030.4523.82未评级688630芯碁微装83.751.232.213.0468.0937.8027.52未评级688409富创精密52.400.661.141.5979.3945.9632.96买入688376美埃科技36.971.432.333.0625.8515.8712.08买入688195腾景科技41.430.540.821.1076.7250.5237.66买入资料来源：iFinD，国海证券研究所 注：未评级公司盈利预测均来源于iFinD一致预期 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明4核心提要核心提要本篇报告解决了以下核心问题：本篇报告解决了以下核心问题：

5、1 1、光刻机核心部件的主要类型、基本原理、市场空间，、光刻机核心部件的主要类型、基本原理、市场空间，EUVEUV光刻机核心部件的差异性；光刻机核心部件的差异性；2 2、ASMLASML的产业协作的产业协作模式、核心部件主要供应商；模式、核心部件主要供应商；3 3、光刻机国产化历程、现状，核心部件及加工设备标的推荐、光刻机国产化历程、现状，核心部件及加工设备标的推荐。u投资逻辑投资逻辑光刻机是芯片制程核心设备。光刻机是芯片制程核心设备。光刻工艺直接决定芯片制造的细微化水平，光刻机的关键指标是分辨率、焦深、套刻精度和产率，其中，分辨率提升方式包括缩短曝光波长、增大数值孔径、降低工艺因子以及多重曝

6、光，增加焦深能够促使光刻机容纳各种工艺误差，套刻精度影响光刻工艺良率和多重曝光水平，产率是光刻机实现产业化的必要条件。核心部件是光刻产业关键壁垒。核心部件是光刻产业关键壁垒。对于投影光学光刻机，主要部件包括光源、照明、物镜、工件台、调焦调平、对准等，EUV光刻机特征显著，体现在材料选择、多层反射膜结构、反射式投影系统、大功率光源以及磁悬浮工件台等方面。对于光刻机核心部件，加工流程复杂、设备种类较多，是产业重要壁垒之一。我们测算，2025E全球光刻机市场规模为293.7亿美元，照明+物镜、光源、工件台、其他部件市场规模为47.8、28.6、21.5、45.2亿美元；2025E全球EUV光刻机市场