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1、半导体量半导体量/检测设备专题报告：检测设备专题报告：前道设备弹性最大环节之一，迎国产替代最佳机遇前道设备弹性最大环节之一，迎国产替代最佳机遇证券研究报告 行业研究 专用设备证券分析师：周尔双执业证书编号：S证券分析师：黄瑞连执业证书编号：S2022年12月6日核心观点核心观点2大陆晶圆厂逆周期大规模扩产，半导体设备需求维持高位。大陆晶圆厂逆周期大规模扩产，半导体设备需求维持高位。相较半导体设计、封测环节，晶圆制造仍是中国大陆当前半导体行业短板，自主可控驱动本土晶圆厂逆周期大规模扩产。据集微咨询预测，中国大陆未来5年将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160万片，对半导体设备的需求将

2、维持高位。美国新一轮制裁对中国大陆存储（128层及以上3D NAND、18nm及以下DRAM）及14nm或以下制程逻辑扩产虽有一定不确定性，但我们认为随着美国对中国大陆半导体产业持续打压，会加速设备国产替代进程。前道国产化率最低环节之一，国产替代弹性空间大。前道国产化率最低环节之一，国产替代弹性空间大。量/检测设备是半导体制造重要的质量检查工艺设备，价值量占比较高，2019年销售额在半导体设备中占比达到年销售额在半导体设备中占比达到11%，仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀设备，仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀设备，远高于清洗、涂胶显影、远高于清洗、涂胶显影、CMP等环节。我们预计等环节。我们预计2023年

3、中国大陆量年中国大陆量/检测设备市场规模将达到检测设备市场规模将达到326亿元，市亿元，市场需求较为广阔。场需求较为广阔。全球范围内来看，KLA在半导体量/检测设备领域一家独大，2020年在全球市场份额高达51%，尤其是在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域，KLA全球市场份额更是分别高达85%、78%、72%。中科飞测、上海精测、睿励科学、东方晶源等本土厂商虽已经实现一定突破，但量/检测设备仍是前道国产化率最低的环节之一。若以近期批量公开招标的华虹无锡和积塔半导体为统计标本，2022年年1-10月份月份2家晶圆厂量家晶圆厂量/检测设备国产化率仅为检测设备国产化率仅为8%，远低于去

4、胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等，远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。展望未来，在美国制裁升级背景下，环节。展望未来，在美国制裁升级背景下，KLA在中国大陆市场的业务开展受阻，我们看好在此轮制裁升在中国大陆市场的业务开展受阻，我们看好在此轮制裁升级刺激下，本土晶圆厂加速国产设备导入，量级刺激下，本土晶圆厂加速国产设备导入，量/检测设备有望迎来国产替代最佳窗口期。检测设备有望迎来国产替代最佳窗口期。投资建议：投资建议：量量/检测设备市场规模大，国产化率低，看好制裁升级下国产替代加速，前瞻性布局的本土企检测设备市场规模大，国产化率低，看好制裁升级下国产替代加速，前瞻性布局的本土企业有望深度受

5、益。建议关注精测电子、赛腾股份、中微公司，以及即将上市的中科飞测。业有望深度受益。建议关注精测电子、赛腾股份、中微公司，以及即将上市的中科飞测。1）精测电子：）精测电子：2021.12.1至2022.11.11，上海精测销售合同累计达到3.38亿元，约是2018-2021年收入之和的2倍，已进入重复订单放量阶段。2）赛腾股份：）赛腾股份：并购日本Optima切入量/检测领域，外观缺陷检测设备具备全球竞争力，中国大陆市场开拓有望快速推进。3）中微公司：）中微公司：三次增资睿励科学，睿励科学在光学薄膜测量领域具备较强竞争力，看好睿励科学在中微公司的产业资源加持下产业化快速推进。4）中科飞测：）中科

6、飞测：专注于半导体量/检测设备的国产领军者，量/检测设备覆盖面已经达到27%，新品突破后有望超过50%，龙头地位显著。风险提示：风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化不及预期、美国制裁升级风险。四、本土部分量四、本土部分量/检测设备企业梳理检测设备企业梳理目录目录一、晶圆厂逆周期大规模扩产，半导体设备需求维持高位一、晶圆厂逆周期大规模扩产，半导体设备需求维持高位二、量二、量/检测设备价值量占比排第四，检测设备价值量占比排第四，2023年市场规模超年市场规模超300亿元亿元三、前道国产化率最低环节之一，国产替代将迎来最佳机遇三、前道国产化率最低环节之一，国产替代将迎来最佳机遇五、投资建议五