华海清科-国产CMP设备龙头正培育耗材及技术服务新增长点-220925（23页）.pdf

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1、电子 2022 年 09 月 25 日 华海清科(688120.SH)国产CMP设备龙头，正培育耗材及技术服务新增长点 请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。公司报告 公司首次覆盖报告 推荐（首次）推荐（首次）股价：股价：328.03 元元 主要数据主要数据 行业 电子 公司网址 大股东/持股 清控创业投资有限公司/28.19%实际控制人 四川国资委 总股本(百万股)107 流通 A 股(百万股)24 流通 B/H股(百万股)总市值（亿元）350 流通 A 股市值(亿元)78 每股净资产(元)42.04 资产负债率(%)

2、35.2 行情走势图行情走势图 证券分析师证券分析师 付强付强 投资咨询资格编号 S1060520070001 FUQIANG 徐勇徐勇 投资咨询资格编号 S1060519090004 XUYONG 研究助理研究助理 徐碧云徐碧云 一般证券从业资格编号 S1060121070070 XUBIYUN 平安观点：CMP 设备本土市场领先，国产化提速带来收入、业绩高增长。设备本土市场领先，国产化提速带来收入、业绩高增长。华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。CMP 是先进集成电路制造前道工序

3、、先进封装等环节必需的关键制程工艺，其利用化学腐蚀和机械研磨的协同配合，实现晶圆表面多余材料的高效去除和全局纳米级平坦化。CMP 设备则是对硅片/晶圆自动化实施 CMP 工艺的超精密装备。随着超大规模集成电路制造的线宽不断细小化而产生了对平坦化的更高要求和需求，CMP 在先进工艺制程中具有不可替代且越来越重要的作用。公司所生产的 CMP 设备可广泛应用于 12英寸和 8 英寸的集成电路大生产线，技术性能处国内领先水平，本土化服务和性价比优势明显，在国内晶圆制造产线中的应用明显提升，营收和业绩也均保持快速增长。2022 年上半年，公司实现收入 7.17 亿元，同比增长 144.27%；实现净利润

4、 1.86 亿元，同比增长 163.26%，高增长在延续。12英寸英寸 CMP设备是设备是公司收入公司收入主要支撑，耗材及服务业务成长性开始凸显。主要支撑，耗材及服务业务成长性开始凸显。CMP 设备的主要作用是实现集成电路生产过程中晶圆不同介质层的整体平坦化，目前行业内通常按所应用产线的晶圆尺寸（也代表技术难度）分为 12 英寸 CMP 设备和 8 英寸 CMP 设备。从公司产品发展路径来看，公司先面市了 12 英寸的 300 系列的 CMP 设备，后推出了 8 英寸的 CMP 设备（200 系列）。由于市场需求结构以及产品成熟度的关系，12 英寸 CMP（300 系列）一直是公司 CMP 设

5、备收入的主要来源。2021 年，公司 CMP设备 6.94 亿元的销售收入中，12 英寸设备实现收入 6.82 亿元，占公司CMP 设备收入的比重达到 98.34%。2021 年，公司 300 系列销售主要来自于 300X 和 300Plus，主要客户包括长江存储和华虹。除了设备之外，CMP 相关衍生性业务增长快速，耗材和技术服务成为公司新的增长点。2021 年，公司耗材和服务业务收入达到1.11 亿元，同比增长 240.86%，其中晶圆再生服务成为该业务的亮点，月产能达到 5 万片。国内国内 CMP 设备市场空间广阔，晶圆再生有望成为新增长点。设备市场空间广阔，晶圆再生有望成为新增长点。国内

6、晶圆制造产能将显著提升，CMP 投资以及应用频次也将增加。随着工艺技术的 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入(百万元)386 805 1632 2566 3335 YOY(%)83.0 108.6 102.8 57.2 29.9 净利润(百万元)98 198 384 608 828 YOY(%)163.4 102.8 93.7 58.3 36.2 毛利率(%)38.2 44.7 45.2 46.3 47.4 净利率(%)25.3 24.6 23.5 23.7 24.8 ROE(%)16.1 24.5 7.9 11.2 13.2 EPS(摊薄/元)0.92 1.